롤투롤 리소그래피 기구 UFX 시리즈

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현재 우시오의 플렉서블 기판용 근접/투영 노출 시스템은 800 유닛 이상의 이력 기록을 가지고 있습니다.
고효율 고해상도 노출은 우리의 특별히 개발된 고출력 램프 및 우리의 광학 시스템 기술 분야에서 확립된 명성을 최대로 활용한 프로젝터 렌즈로 달성됩니다.

【구성 기술】
- 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함
- 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다.
- 경쟁자가 없는 넓은 영역 프로젝터 렌즈

얇고 넓은 테이프에 적절
165 mm, 25 µm (Pl) 까지의 얇은 테이프 지원
대구경 프로젝션 렌즈가 특징입니다.
우시오의 특별한 대구경 프로젝션 렌즈는 극적인 생산성 향상과 더 높은 처리량을 달성했습니다.
큰 피사계 심도
이 장비는 두꺼운 포토레지스트 필름 및 변형된 테이프도 수용합니다.
자동 줌 기능
이 장비는 테이프의 팽창 및 수축을 다룰 수 있고 높은 수준의 오버레이 정확성을 구현합니다.
COF
T-BGA
FPC
터치 페널
Two-metal ;COF
TAB 등

UFX 시리즈 라인업

모델 UFX-2238 UFX-2468 UFX-2477
노출 영역 □140 mm
롤 두께 to 160 mm
해상도 12 µm L/S 7 µm L/S 4 µm L/S
정렬 정확성 ±7 µm
파장 ihg 라인 ih 라인 I 라인

모델 목록

설치된 광원

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This equipment (or technology) may be subject to security controls under the provisions of the Foreign Exchange and Foreign Trade Control Law, and in order to export the equipment or technology (or to conduct transactions for the purpose of providing the technology to a non-resident or foreign country), it may be necessary to obtain an export permit (or permission to implement service transactions) from the Minister of Economy, Trade and Industry. Be sure to contact us in advance for confirmation.