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제품명 제품개요 주용도 및 분야 파장
중압 램프 중압 램프 USHIO의 중압램프는 0.5KW에서 35KW범위내에서 고객의 NEEDS에 맞춰 제공하고 있습니다. 중압램프는 저압램프 및 아말감램프에 비해 단위길이당 출력이 높아 고출력이 필요하거나 공간의 제약이 있는 현장에 적용이 용이합니다. 또한 다종의 램프베이스를 보유하고 있어 다양한 고객의 요구에 대응이 가능하며 램프의 교체가 용이하도록 설계되어 있습니다.
접촉/근접 정렬기 UX-3 시리즈 접촉/근접 정렬기 UX-3 시리즈 이 마스크 정렬기는 우시오가 수년에 걸쳐 개발해온 광원과 광학 기술을 사용하고 있습니다. 이 노출 기기는 ihg 선을 지원할 뿐만 아니라 깊은 UV 범위 또한 지원합니다. 【구성 기술】 - 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함 - 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다.
수동 타입 접촉/근접 정렬기 UX-1시리즈 수동 타입 접촉/근접 정렬기 UX-1시리즈 이 마스크 정렬기는 우시오가 수년에 걸쳐 개발해온 광원과 광학 기술을 사용하고 있습니다. 이 노출 기기는 ihg 선을 지원할 뿐만 아니라 깊은 UV 범위 또한 지원합니다. 【구성 기술】 - 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함 - 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다.
엑시머 램프/엑시머 조사 유닛 엑시머 램프/엑시머 조사 유닛 엑시머 VUV 광은 희가스 또는 희가스 수소 화합물을 함유한 램프에 의해 생성된 아주 높은 에너지의 빛입니다. 외부에서 높은 에너지의 전자를 희가스 또는 희가스 수소 화합물을 합유한 램프에 적용하면 강렬한 플라즈마 방출을 생성합니다(유전체 장벽 방전). 이 플라즈마는 높은 에너지의 전자를 함유하며 즉시 소멸되는 것이 특징입니다. 이 플라즈마 방출은 즉시 방출 가스(희가스) 의 원자를 엑시머(Xe) 상태로 여기 시킵니다(높은 에너지의 궤도 원자가 엑시머 여기 분자를 형성). 엑시머-특정 스펙트럼은 원자기 엑시머 상태에서 원래의 상태 (기저 상태) 로 돌아올 때 방출됩니다. 이 방출을 VUV 광이라고 부릅니다.
UV 포토레지스트 경화 시스템Unihard UV 포토레지스트 경화 시스템 Unihard 이 자외선 조사 기기는 LSI 제조 라인의 포토레지스트 경화에 사용합니다. 초고압 UV 램프와 엑시머 램프를 장착하여 드라이 에칭 시 플라즈마 내성 향상, 이온 주입 중의 포토레지스트 가스 방출 및 화상 방지, 전하 중화, 스트레스 제거 및 로우k 경화와 같은 다양한 응용 작업에 사용됩니다.
전하 중화 시스템 전하 중화 시스템 강하고 깊은 자외선 조사는 EPROM 및 플래쉬 메모리의 전화를 중화합니다. 플라즈마 처리에 문제가 될 수도 있는 전하를 중화합니다.
UV 즉석 건조 기기 유니큐어 시스템 UV 즉석 건조 기기 유니큐어 시스템 고출력, 컴팩트 UV 경화 및 건조 장비는 저온 처리를 달성했습니다. UV 강도 및 의도하는 목적에 필요한 조사 영역에 따라 램프 및 기타 구성 요소를 선택할 수 있습니다. 지침 매뉴얼은 여기에서 (등록이 필요합니다)
점 UV 조사 유닛Spot Cure 시리즈 점 UV 조사 유닛 Spot Cure 시리즈 Spot Cure 시리즈는 사용 편의성과 환경적 고려사항을 추구하여 30년 이상 축적된 우리의 광 시스템 기술을 활용합니다. 우리는 다양한 렌즈 및 라인과 작업물의 상황에 맞는 옵션들을 제공합니다.
딮 UV 램프 딮 UV 램프 크세논 램프를 기반으로 하는 수은 증기 충전 고강도 점 광원 램프입니다. 230~320 nm의 파장 범위의 원자외선 조사가 특징이며 짧은 파장의 광화학 반응, UV 경화 및 리소그래피에 사용됩니다.
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