현재 우시오의 플렉서블 기판용 근접/투영 노출 시스템은 800 유닛 이상의 이력 기록을 가지고 있습니다.
고효율 고해상도 노출은 우리의 특별히 개발된 고출력 램프 및 우리의 광학 시스템 기술 분야에서 확립된 명성을 최대로 활용한 프로젝터 렌즈로 달성됩니다.
【구성 기술】
- 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함
- 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다.
- 경쟁자가 없는 넓은 영역 프로젝터 렌즈
2039
172nm Excimer System
12인치 웨이퍼 반도체용으로, 엑시머 광조사기를 탑재한 단동(Stand-Alone)형 장치입니다.
FOUP를 구비하여, 레시피(recipe) 설정에 따라 자동으로 엑시머광을 웨이퍼에 조사함으로써 Ashing 프로세스등을 시행합니다.
2039
엑시머 램프/엑시머 조사 유닛
엑시머 VUV 광은 희가스 또는 희가스 수소 화합물을 함유한 램프에 의해 생성된 아주 높은 에너지의 빛입니다. 외부에서 높은 에너지의 전자를 희가스 또는 희가스 수소 화합물을 합유한 램프에 적용하면 강렬한 플라즈마 방출을 생성합니다(유전체 장벽 방전). 이 플라즈마는 높은 에너지의 전자를 함유하며 즉시 소멸되는 것이 특징입니다. 이 플라즈마 방출은 즉시 방출 가스(희가스) 의 원자를 엑시머(Xe) 상태로 여기 시킵니다(높은 에너지의 궤도 원자가 엑시머 여기 분자를 형성). 엑시머-특정 스펙트럼은 원자기 엑시머 상태에서 원래의 상태 (기저 상태) 로 돌아올 때 방출됩니다. 이 방출을 VUV 광이라고 부릅니다.
2034
점 UV 조사 유닛 Spot Cure 시리즈
Spot Cure 시리즈는 사용 편의성과 환경적 고려사항을 추구하여 30년 이상 축적된 우리의 광 시스템 기술을 활용합니다. 우리는 다양한 렌즈 및 라인과 작업물의 상황에 맞는 옵션들을 제공합니다.
2036
UV 조사 미터
UIT-201
500 W ~ 35kW 급의 다양한 램프 라인업으로 우리는 고객의 생산성을 지원하고 생산량을 향상시키기 위해 최적의 조사 솔루션을 제공할 수 있습니다.
2036
누적 UV 미터 UIT-250
Unimeter 시리즈는 광학 기기 생산업체로서의 우리의 경험과 전문성을 바탕으로 개발되었습니다. 이 컴팩트한 광학 측정 기기는 사용자 입장에서 참으로 사용하기에 쉽습니다. UV 경화, 세정 및 살균 시스템 뿐만 아니라 조사 시스템을 포함한 다양한 기기들의 강성을 유지하는데 사용됩니다.
2036
초박형 휴대 UV 조사 미터 UIT-θLED
이 무선 LED 전용 조사 미터의 두께는 단지 4.9mm입니다.
광학 필름 코팅, 정밀 광학 부품 및 렌즈의 접착, 광원과 물체 사이의 UV 프린팅 공정, 심지어는 접근하기 힘든 장소까지도 측정합니다.
2036
분광 반사율 미터 URE-50
평평한 표면 뿐 아니라 ±R50 mm 까지의 곡률을 가진 표면의 스펙트럼 반사율 (자외선에서 부터 근적외선 까지)을 즉석에서 측정합니다. 컴팩트한 사이즈에도 불구하고 우시오의 특별한 측정 기기는 대형 제품의 측정도 지원합니다.
2036
스펙트럼 라디오미터 USR-45 시리즈
우시오의 조사 미터는 국립 산업 과학 기술 연구소에서 확립한 광도계 표준 램프에 기초해 절대값을 측정할 수 있습니다.
UV, 가시광선 및 적외선 광, 및 다양한 광원(지속적인 광, 섬광, LED광) 을 포함한 다양한 대역을 측정합니다.
2033
할로겐 램프 히터
이 할로겐 히터는 85% 이상의 입력 전원을 열로 전환해 결과적으로 아주 효율적인 열원이 되는 할로겐 램프로부터 효율적으로 적외선을 추출해 내기 위해 개발되었습니다. 할로겐 램프의 가열은 유연성과 제어성에 있어 풍부함이 있어 다른 열원이 제공하지 못하는 뛰어난 특성을 가집니다. 우시오의 열처리 시스템은 반도체, LCD, 및 자동차 부품 및 CFRT 같은 수지 소재 등의 가열 같은 전기 기기 제조 공정 등의 다양한 산업분야에 사용되고 있습니다.
2033
플래쉬 램프 강화기
플래쉬 램프의 가열 냉각은 1000분의 1초 정도로 극히 짧은 가열 공정을 가능하게 합니다.
플래쉬 램프에서 방출된 UV ~ 가시 파장 광은 열을 기판 (소재) 표면에 집중시켜 아래의 필름 또는 기판이 받는 열로 인한 영향이 기존의 열원에 비해 극히 적습니다.
이 밀리세컨드 표면 열 처리는 반도체 이식층의 제로 확산 및 열 budget 감소 같은 미래 기기 개발에 필요한 필수 기술이 되고 있습니다.
플래쉬 램프 가열은 결정화, 접합, 박리, 분해 및 경화와 같은 반응을 만들어 내는 데에도 사용됩니다.
이 특성들은 생산(제조)라인 응용 분야 뿐만 아니라 Si 웨이퍼, SiC 웨이퍼, 유리, 플라스틱 필름 및 기타 플렉서블 기판과 같은 다양한 기술 개발 응용 분야에도 효율적으로 적용됩니다.
실험 시연 요청을 환영하고 있으니 언제든 연락 주십시오.
2035
TOC제거용 리액터
우시오의 TOC제거용 리액터는 반도체, DISPLAY, 바이오 업계에서 사용하는 순수 및 초순수를 제조하는 라인에서 TOC제거 및 이온화하는 용도로 사용됩니다. UKI-P-TOC모델은 광원 및 유체시뮬레이션을 활용한 최적화 설계기술과 우시오의 고출력 아말감램프를 적용하여 고효율, 저전력, 소형화를 실현한 혁신적인 제품입니다.
2035
일반살균용 리액터(관로형)
우시오의 관로형 살균리액터는 일반산업분양에서 원수, 공정수, 제품수, 폐수안에 박테리아나 바이러스등을 살균하는 용도로 사용됩니다. 미국의 EPA규격에 맞춘 조사량 설계와 고출력의 다양한 우시오 광원을 활용하여 종래 제품보다 효율성을 높인 제품입니다.
2035
일반살균용 리액터(수로형)
우시오의 수로형 살균리액터는 하수, 폐수처리장 및 수영장에서 물이 흘러가는 수로에 설치하여 대상수를 살균하는 용도로 사용됩니다. 모듈방식으로 되어 있고, 자동세척장치 기능이 있어 설치 및 유지보수가 편리합니다. 또한 램프 출력조절로 유량변동에 따른 연동운전이 가능하기 때문에 현장에서의 운용관리가 용이합니다.
2035
일반살균용 리액터(탱크형)
우시오의 탱크형 살균리액터는 지하수, 제품수, 폐수등의 공업용수를 보관하는 탱크에 UV램프를 설치하여 대상수를 살균하고, 탱크내부에서 미생물의 증식을 억제하는 용도로 사용됩니다. 방수처리와 튼튼한 구조로 되어 있어 유량의 변화에도 안전한 운영이 가능하며 탱크외부의 컨트롤박스에서 램프의 ON/OFF 및 출력조절이 가능하여 관리가 용이합니다.
2035
오존제거용 리액터
우시오의 오존제거용 리액터는 오존을 이용하여 고도정수처리를 하는 정수장에서 잔류오존을 컨트롤하는 용도로 사용됩니다. 수질개선 및 맛, 냄새 물질 제거 효율을 높이는 AOP처리에도 효과적입니다. UKI-P-AOP모델은 수온의 변화에 의한 오존제거효율특성을 반영하여 계절에 관계없이 효율적이고 안정적인 운영을 실현시킨 신뢰성 높은 제품입니다.
2032
디지털 카메라 프로젝터 및 관련 장비
Christie 프로젝터는 계속해서 엔터테인먼트 회사들과 포스트 프로덕션의 까다로운 요구사항들을 충족시켜 왔습니다. 2K와 4K의 이미지 크기 및 3D 비디오는 최신의 높은 프레임 속도의 요구를 만족시키고 있습니다. Christie 프로젝터는 초창기 필름 시대로부터 현재에까지 전세계 36,000 곳의 현장에서 1,000만번 이상 상영하며 사용되고 있습니다.
*CHRISTIE DIGITAL SYSTEMS의 제품입니다.
2032
비즈니스 및 대형 스크린 응용 분야용 프로젝터
이 제품은 대회의실 및 다목적 강당 등과 같은 중간 크기의 시설에서의 사용에 적합합니다.* CHRISTIE DIGITAL SYSTEMS의 제품입니다.
2032
3D 입체 프로젝터 및 관련 장비
이 프로젝터와 연관 장비는 입체(3D) 컨텐츠를 지원합니다.
* CHRISTIE DIGITAL SYSTEMS의 제품입니다.
2032
시뮬레이션 프로젝터 및 관련 장비
이 제품은 건축, 네비게이션 및 비행 시뮬레이트와 같은 시뮬레이터 어플리케이션에 적합합니다.
* CHRISTIE DIGITAL SYSTEMS의 제품입니다.
2032
제어실 및 비디오 월 디스플레이 제품
이 제품은 운영 센터 및 제어실에서의 사용에 적합합니다.
* CHRISTIE DIGITAL SYSTEMS의 제품입니다.