Surface modification

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1. 대기중의 공기의 질을 개선하기 위해 172nm 파장의 높은 효능을 활용합니다.
유기 물질의 분자 구조를 끊기 위해서는 물질의 결합 에너지를 뛰어넘는 빛의 에너지를 필요로 합니다. 물질의 에너지 흡수(여자)가 크면 클수록 반응(분해)을 유도하기가 쉽고 요구되는 처리 시간도 짧아집니다. 저전압의 UV 램프로 끊어낼 수 없는 결합 에너지는 엑시머 램프에서 생성되는 172nm 파장을 이용해 해결할 수 있습니다.

오존 또는 활성 산소로 대량의 고준위 산소 원자를 생성.
저전압 UV 램프의 185nm 파장에 비교해 엑시머 램프의 172nm 파장의 분자 산소에 의한 흡수 계수는 약 20배 정도가 큽니다. 이것은 높은 밀도의 다양한 활동 산소를 만들어 낼 뿐만 아니라 산소에 직접 작업함으로써 강한 산화력을 가진 강하게 자극된 산소를 생성할 수 있습니다.