誘電体バリア放電を利用して稀ガスあるいは稀ガスハライドのエキシマを形成させ、このエキシマからの自然放出光を取り出す、いわゆるエキシマランプが知られている^{（1）（2）}。 これらのランプは、従来の放電ランプでは得られない波長の光を、大面積で得られるという特徴がある。我々は、これらのランプ実用化を進めているが、今回は、Xe₂^＊エキシマランプの諸特性について報告する。

実験用誘電体バリア放電ランプは、2本の合成石英ガラスを同軸に配置し、中空円筒の放電空間を形成した構造である（図1参照）。光反射板を兼ねたアルミニウム蒸着電極と放電容器の外側に設けた金属網電極の間で、誘電体バリア放電を行った。光は、網電極を通して取り出した。実験した範囲は、キセノンの圧力と放電ギャップの積pdは2～60kPa・cm、放電電力は 10～30Wである。

Pd：18kPa・cm、ランプ電力：20Wにおける発光スペクトルを図1に示す。172nmに最大値を有し、半値幅が約15nmである単色光の放射が得られた。発光効率などの詳細については講演で報告する。