ライトエッジ No.1

照明学会研究会資料　無電極放電ランプの現状とその動向

誘電体バリア放電を利用した
エキシマランプの特性

第54回応用物理学会学術講演会講演予稿集No.1

27a－HE－1
誘電体バリア放電を利用した
Xe₂^＊エキシマランプの開発
Development of Dielectric Barrier Discharge Driven Xe₂^＊ Excimer Lamp

第54回応用物理学会学術講演会講演予稿集No.1

27a－HE－2
誘電体バリア放電を利用したXe₂^＊
エキシマランプによるPETフィルムの表面改質
Modification of Plastics Surfaces with Xe₂^＊ Excimer Lamp

第54回応用物理学会学術講演会講演予稿集No.1

27a－HE－3
172nm誘電体バリア放電ランプによる
ポリエチレンフィルムの染着性処理
Surface Modification of Polyethylene Films by 172nm VUV Lamp

第54回応用物理学会学術講演会講演予稿集No.1

27a－HE－4
172nm誘電体バリア放電ランプによる
ポリイミドの表面改質
Surface Modification of Polyimide by 172nm VUV lamp

第54回応用物理学会学術講演会講演予稿集No.1

27a－HE－5
172nm誘電体バリヤ放電ランプによる
ポリアセタールの表面改質
Surface Modification of Polyoxymethylene by 172nm VUV lamp

第54回応用物理学会学術講演会講演予稿集No.1

27a－HE－6
172nm誘電体バリヤ放電ランプによる
テフロンの親水性処理
Surface Modification of Teflon by 172nm VUV lamp

電気関係学会関西支部連合大会講演論文集

誘電体バリア放電を利用したエキシマランプの特性

第41回応用物理学関係連合講演会講演予稿集

30p－ZE－2
誘電体バリア放電Xe₂^＊エキシマランプによる
石英ガラスのUV/O₃洗浄
UV/O₃ Cleaning of Slica Glasses with Xe Excimer Lamp

第41回応用物理学関係連合講演会講演予稿集

30p－ZE－3
誘電体バリア放電を利用した
Ar₂^＊エキシマランプの開発
Development of Ar₂^＊ Excimer Lamp using Dielectric Barrier Discharge

照明学会全国大会講演予稿集

26. 誘電体バリア放電を利用した
Xe₂*エキシマランプの光出力特性
Radiation Characteristics of Xe₂* Exicimer lamp
with Dielectric Barrier Dischages

照明学会全国大会講演予稿集

27. 誘電体バリア放電を利用した
ヘッドオン型Xe₂*エキシマランプの特性
Head‐on Xe₂* Excimer lamp with Dielectric Barrier Dischages

照明学会全国大会講演予稿集

28. 誘電体バリア放電を利用した
XeCl*エキシマランプ
XeCl* Excimer lamp with Dielectric Barrier Dischages

照明学会全国大会講演予稿集

29. エキシマ光照射装置
Excimer Photon Source

第55回 応用物理学会学術講演会講演予稿集No.1

20a－ZV－10
誘電体バリア放電を利用した
XeClエキシマランプ
Dielectric Barrier Discharge Driven XeCl Excimer Lamp

第55回 応用物理学会学術講演会講演予稿集No.2

21p－ZM－9
172nm誘電体バリア放電ランプによる
SiO₂膜の室温形成
Fabrication of SiO2 Film at Room Temperature by 172nm VUV Lamp

第55回 応用物理学会学術講演会講演予稿集No.2

21p－ZM－10
172nm誘電体バリア放電ランプによる
CHClF₂の光分解とSiO₂の光化学エッチング
Photo‐decomposition of CHClF2 and Photochemical Etching of SiO2 by 172nm VUV lamp

第55回 応用物理学会学術講演会講演予稿集No.2

21p－ZM－11
誘電体バリア放電Xe₂*エキシマランプを利用した減圧下での石英ガラスのUV/O₃洗浄
UV/O₃ Cleaning of Silica Glass under low pressure atmosphere with Xe₂* Excimer Lamp using Dielectric Barriar Discharge

日本化学会 第68秋季年会（含連合討論会）／化学関係学協会連合協議会研究発表会
／中部化学関係学協会支部連合協議会秋季大会 合同大会 講演予稿集

2 C2 25
高分子樹脂と真空紫外光（172nm）の光反応
Photocemical reaction of synthetic resins with Vacuum Ultra Violet（172nm）

「光技術コンタクト」Vol.32,（1994年）NO.2 別刷

特 集　「新光源技術」
誘電体バリア放電を利用したエキシマランプ

誘電体バリア放電エキシマランプ内蔵の
エキシマ光照射装置

照明学会研究会資料　LS-95-1～6, P.1～10

半導体製造用エキシマUV/O₃洗浄装置