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EUV 검색결과

제품명 제품개요 주용도 및 분야 파장
엑시머 램프/엑시머 조사 유닛 엑시머 램프/엑시머 조사 유닛 엑시머 VUV 광은 희가스 또는 희가스 수소 화합물을 함유한 램프에 의해 생성된 아주 높은 에너지의 빛입니다. 외부에서 높은 에너지의 전자를 희가스 또는 희가스 수소 화합물을 합유한 램프에 적용하면 강렬한 플라즈마 방출을 생성합니다(유전체 장벽 방전). 이 플라즈마는 높은 에너지의 전자를 함유하며 즉시 소멸되는 것이 특징입니다. 이 플라즈마 방출은 즉시 방출 가스(희가스) 의 원자를 엑시머(Xe) 상태로 여기 시킵니다(높은 에너지의 궤도 원자가 엑시머 여기 분자를 형성). 엑시머-특정 스펙트럼은 원자기 엑시머 상태에서 원래의 상태 (기저 상태) 로 돌아올 때 방출됩니다. 이 방출을 VUV 광이라고 부릅니다.
UV 포토레지스트 경화 시스템Unihard UV 포토레지스트 경화 시스템 Unihard 이 자외선 조사 기기는 LSI 제조 라인의 포토레지스트 경화에 사용합니다. 초고압 UV 램프와 엑시머 램프를 장착하여 드라이 에칭 시 플라즈마 내성 향상, 이온 주입 중의 포토레지스트 가스 방출 및 화상 방지, 전하 중화, 스트레스 제거 및 로우k 경화와 같은 다양한 응용 작업에 사용됩니다.
전하 중화 시스템 전하 중화 시스템 강하고 깊은 자외선 조사는 EPROM 및 플래쉬 메모리의 전화를 중화합니다. 플라즈마 처리에 문제가 될 수도 있는 전하를 중화합니다.
UV 즉석 건조 기기 유니큐어 시스템 UV 즉석 건조 기기 유니큐어 시스템 고출력, 컴팩트 UV 경화 및 건조 장비는 저온 처리를 달성했습니다. UV 강도 및 의도하는 목적에 필요한 조사 영역에 따라 램프 및 기타 구성 요소를 선택할 수 있습니다. 지침 매뉴얼은 여기에서 (등록이 필요합니다)
점 UV 조사 유닛Spot Cure 시리즈 점 UV 조사 유닛 Spot Cure 시리즈 Spot Cure 시리즈는 사용 편의성과 환경적 고려사항을 추구하여 30년 이상 축적된 우리의 광 시스템 기술을 활용합니다. 우리는 다양한 렌즈 및 라인과 작업물의 상황에 맞는 옵션들을 제공합니다.
과학용 광원 유닛 옵티컬 Modulex 과학용 광원 유닛 옵티컬 Modulex 이 데스크탑 광원 유닛은 단순한 평행 IR, UV 및 가시광선을 제공하며 분광법 및 태양 전지 평가에 이상적입니다. 모든 모델은 높은 평행성, 고출력 광원 실험용으로 조정이 필요 없는 광학 램프 축을 갖고 있습니다.
검사를 위한 광원 유닛 Optical Modulex 검사를 위한 광원 유닛 Optical Modulex 고강도 UV 램프를 장착하여 검사 업무에 필수적인 높은 정밀도의 평행 조사를 제공합니다. 데스크 타입의 광원 유닛은 15년 이상의 실제 결과 기록의 이력을 가지고 있으며 유리, 필름 및 렌즈의 외관 검사에 이상적입니다 (또한 검사 광원은 유리 제조사 협회에서 추천하고 있습니다).
다목적 노출 유닛 딮 UV Multilight 다목적 노출 유닛 딮 UV Multilight 딥 UV Multi-light는 균일, 평행 광원으로서 좋은 이력 기록을 갖고 있는 Multi-light 시리즈와 동일한 기본 구조를 유지하면서 230 ~ 330 nm의 깊은 UV 파장 영역에 최적화된 광원 유닛입니다. 리소그래피 응용 뿐만 아니라 다양한 광화학 반응에 대한 평가용 광원으로서 표면 변경에 적용할 수 있는 광원입니다.
다목적 노출 유닛 Multilight 다목적 노출 유닛 Multilight 접촉/근접 교정기와 함께 사용하며 “Multilight”는 다양한 변형이 가능합니다. 미세한 필터링을 요구하는 응용분야에 추천합니다.
초고압 UV 램프(~500W) 초고압 UV 램프(~500W) 우시오의 초고압 UV 램프는 3개의 자외선 파장 (436, 405, 365nm) 을 효율적으로 활용하도록 개발되었으며 안정정인 조사와 긴 수명의 고강도 광원입니다. 램프의 아크 사이즈가 점 광원의 아크 사이즈에 가까워 광학시스템에 의해 빛을 쉽게 모으고 확산시킬 수 있으며 균일한 조도 분포를 쉽게 얻을 수 있습니다.
초고압 UV 램프(500W~35kW) 초고압 UV 램프(500W~35kW) 점점 다양해지는 요구에 대응하기 위해 기기 제조업체들과 공동으로 개발한 이 리소그래피 UV 램프는 사용자들의 신뢰와 더불어 큰 갈채를 받고 있습니다. 우리의 폭넓은 500 W ~ 35kW급 램프 라인업에서 생산성을 지원하고 생산량을 개선할 수 있는 최적의 조사 솔루션을 제공할 수 있습니다. 우리는 또한 귀사가 개발한 기기에 맞춘 램프도 개발할 수 있습니다.
크세논 쇼트 아크 램프 (~500W) 크세논 쇼트 아크 램프 (~500W) 이러한 크세논 쇼트 아크 램프들은 크세논 가스로 충전된 고강도 점 광원으로, 가시 광선에서 적외선 까지 범위의 주광과 유사한 지속적인 스펙트럼을 갖고 있습니다: 정확한 컬러 렌더링을 위한 뛰어난 광원. 이러한 램프들은 분광학, 현미경, 솔라 시뮬레이터 및 다양한 유형의 검사에 광원으로 사용됩니다.
시네마 프로젝터를 위한 크세논 램프 시네마 프로젝터를 위한 크세논 램프 우시오는 모든 디지털 시네마 프로젝터 생산업체로부터 인증받은 높은 선명도와 재현성의 크세논 램프를 모두 보유한 유일한 생산자입니다. 태양광에 근접한 스펙트럼 분포로 이 크세논 램프들은 시네마 프로젝터에 최적화되어 있습니다. 업계에서 최고의 품질을 자랑하며 전세계 극장들이 선호하고 있습니다.
데이터 프로젝터용 램프 데이터 프로젝터용 램프 초고압 UV 램프에 기반한 이 컴팩트한 고강도, 깜빡임 없는 램프는 높은 신뢰성을 보여줍니다. 비지니스, 교육 및 홈시어터 시장을 포함하는 다양한 응용분야에서 고성능 프로젝터를 지원합니다.
컴팩트 크세논 램프 컴팩트 크세논 램프 우시오의 UXR™ 시리즈 크세논 램프는 충격과 압력에 대한 우수한 내성을 제공하기 위해 세라믹과 사파이어를 주요 부품으로 한 우리의 독점적인 최적화된 설계를 바탕으로 개발되었습니다. 램프는 번거로운 광축 조정이 필요없이 특별한 색상 렌더링 특성을 효율적으로 추출할 수 있도록 거울을 통합하여 컴팩트한 사이즈와 가벼운 무게가 주요 특징입니다.
딮 UV 램프 딮 UV 램프 크세논 램프를 기반으로 하는 수은 증기 충전 고강도 점 광원 램프입니다. 230~320 nm의 파장 범위의 원자외선 조사가 특징이며 짧은 파장의 광화학 반응, UV 경화 및 리소그래피에 사용됩니다.
할로겐 램프 히터 할로겐 램프 히터 이 할로겐 히터는 85% 이상의 입력 전원을 열로 전환해 결과적으로 아주 효율적인 열원이 되는 할로겐 램프로부터 효율적으로 적외선을 추출해 내기 위해 개발되었습니다. 할로겐 램프의 가열은 유연성과 제어성에 있어 풍부함이 있어 다른 열원이 제공하지 못하는 뛰어난 특성을 가집니다. 우시오의 열처리 시스템은 반도체, LCD, 및 자동차 부품 및 CFRT 같은 수지 소재 등의 가열 같은 전기 기기 제조 공정 등의 다양한 산업분야에 사용되고 있습니다.
플래쉬 램프 강화기 플래쉬 램프 강화기 플래쉬 램프의 가열 냉각은 1000분의 1초 정도로 극히 짧은 가열 공정을 가능하게 합니다. 플래쉬 램프에서 방출된 UV ~ 가시 파장 광은 열을 기판 (소재) 표면에 집중시켜 아래의 필름 또는 기판이 받는 열로 인한 영향이 기존의 열원에 비해 극히 적습니다. 이 밀리세컨드 표면 열 처리는 반도체 이식층의 제로 확산 및 열 budget 감소 같은 미래 기기 개발에 필요한 필수 기술이 되고 있습니다. 플래쉬 램프 가열은 결정화, 접합, 박리, 분해 및 경화와 같은 반응을 만들어 내는 데에도 사용됩니다. 이 특성들은 생산(제조)라인 응용 분야 뿐만 아니라 Si 웨이퍼, SiC 웨이퍼, 유리, 플라스틱 필름 및 기타 플렉서블 기판과 같은 다양한 기술 개발 응용 분야에도 효율적으로 적용됩니다. 실험 시연 요청을 환영하고 있으니 언제든 연락 주십시오.
OA 장비를 위한 할로겐 히터 OA 장비를 위한 할로겐 히터 할로겐 히터는 가열을 위해 할로겐 램프가 방출하는 빛을 사용합니다. 할로겐 램프에서 방출되는 거의 모든 빛은 보이지 않는 적외선 (열)로 높은 효율의 에너지원입니다. 복사기나 레이저빔 프린터의 토너 고정 광원으로 선택합니다.
UV-LED 균일표면 조명 광원UniField UV-LED 균일 표면 조명 광원 UniField 이 UV LED 조사 유닛은 넓은 영역, 고강도 및 높은 균일 조사의 다중 파장의 선택이 가능합니다. 설치된 우시오의 독점적인 렌즈는 증가된 조사 거리로 인한 조도 손실을 최소화 합니다.
인쇄용 UV-LED
Uni Jet 시리즈 인쇄용 UV-LED Uni Jet 시리즈 우시오의 UniJet 시리즈는 UV 경화 및 인쇄에 대한 까다로운 요구를 만족시키기 위해 최적으로 설계되고 개발된 모듈식 UV 광원으로 구성되어 있습니다. 이 이상적인 광원 기술은 기존의 램프 기반의 UV 광원에 대한 대안으로 추구되어 왔습니다. 우시오의 M, L, I, E 및 A 시리즈 형태의 다양하고 고객에 맞춘 설계는 UV 경화 및 인쇄 산업 분야와 수많은 상업적 및 산업적 응용 분야의 기능적 요구 사항을 충족시키기 위해 개발되었습니다. 이러한 모듈들은 수냉식, 공기 냉각식 및 다양한 디밍 기능들을 결합하여 각각의 고객의 사양과 요구 사항을 보장합니다.
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