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제품명 제품개요 주용도 및 분야 파장
대형 필드 스테퍼 UX-5 시리즈 UX-7 시리즈 대형 필드 스테퍼 UX-5 시리즈 UX-7 시리즈 우시오는 서버와 PC 그리고 스마트폰 및 태블릿 PC와 같은 휴대 기기에 채택된 최신 패키징 어플리케이션용 특수 스테퍼를 제공합니다. 스테퍼는 패널 사이즈와 오랜 시간 동안 광원 및 광학 기술 분야에서의 전문성으로 함양된 우시오의 독점적인 넓은 영역 투영 렌즈 기술에 해당하는 단계를 사용하고 있는 패키지 기판을 위한 것입니다. 고해상도와 최신 패키징 기판에 요구되는 오버레이 정확성을 실현하면서 높은 생산성을 구현합니다. 【구성 기술】 - 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함 - 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다. - 경쟁자가 없는 넓은 영역 프로젝터 렌즈
광범위 투영 정렬기 UX-4 시리즈 광범위 투영 정렬기 UX-4 시리즈 이 투영 정렬기는 우리의 특별한 넓은 영역 프로젝터 렌즈 기술, 광원 및 우시오가 오랜 동안 개발해온 광학 기술을 사용하고 있습니다. 마스크를 건드리지 않고 8인치 까지 웨이퍼의 원샷 노출을 제공합니다. 큰 피사계 심도는 비평면 웨이퍼의 적절한 노출을 가능하게 해 근접 정렬기로는 불가능했던 높은 생산성과 생산량을 달성합니다. 【구성 기술】 - 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함 - 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다. - 경쟁자가 없는 넓은 영역 프로젝터 렌즈
접촉/근접 정렬기 UX-3 시리즈 접촉/근접 정렬기 UX-3 시리즈 이 마스크 정렬기는 우시오가 수년에 걸쳐 개발해온 광원과 광학 기술을 사용하고 있습니다. 이 노출 기기는 ihg 선을 지원할 뿐만 아니라 깊은 UV 범위 또한 지원합니다. 【구성 기술】 - 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함 - 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다.
수동 타입 접촉/근접 정렬기 UX-1시리즈 수동 타입 접촉/근접 정렬기 UX-1시리즈 이 마스크 정렬기는 우시오가 수년에 걸쳐 개발해온 광원과 광학 기술을 사용하고 있습니다. 이 노출 기기는 ihg 선을 지원할 뿐만 아니라 깊은 UV 범위 또한 지원합니다. 【구성 기술】 - 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함 - 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다.
롤투롤 리소그래피 기구 UFX 시리즈 롤투롤 리소그래피 기구 UFX 시리즈 현재 우시오의 플렉서블 기판용 근접/투영 노출 시스템은 800 유닛 이상의 이력 기록을 가지고 있습니다. 고효율 고해상도 노출은 우리의 특별히 개발된 고출력 램프 및 우리의 광학 시스템 기술 분야에서 확립된 명성을 최대로 활용한 프로젝터 렌즈로 달성됩니다. 【구성 기술】 - 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함 - 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다. - 경쟁자가 없는 넓은 영역 프로젝터 렌즈
UV 포토레지스트 경화 시스템Unihard UV 포토레지스트 경화 시스템 Unihard 이 자외선 조사 기기는 LSI 제조 라인의 포토레지스트 경화에 사용합니다. 초고압 UV 램프와 엑시머 램프를 장착하여 드라이 에칭 시 플라즈마 내성 향상, 이온 주입 중의 포토레지스트 가스 방출 및 화상 방지, 전하 중화, 스트레스 제거 및 로우k 경화와 같은 다양한 응용 작업에 사용됩니다.
전하 중화 시스템 전하 중화 시스템 강하고 깊은 자외선 조사는 EPROM 및 플래쉬 메모리의 전화를 중화합니다. 플라즈마 처리에 문제가 될 수도 있는 전하를 중화합니다.
UV 즉석 건조 기기 유니큐어 시스템 UV 즉석 건조 기기 유니큐어 시스템 고출력, 컴팩트 UV 경화 및 건조 장비는 저온 처리를 달성했습니다. UV 강도 및 의도하는 목적에 필요한 조사 영역에 따라 램프 및 기타 구성 요소를 선택할 수 있습니다. 지침 매뉴얼은 여기에서 (등록이 필요합니다)
점 UV 조사 유닛Spot Cure 시리즈 점 UV 조사 유닛 Spot Cure 시리즈 Spot Cure 시리즈는 사용 편의성과 환경적 고려사항을 추구하여 30년 이상 축적된 우리의 광 시스템 기술을 활용합니다. 우리는 다양한 렌즈 및 라인과 작업물의 상황에 맞는 옵션들을 제공합니다.
초고압 UV 램프(~500W) 초고압 UV 램프(~500W) 우시오의 초고압 UV 램프는 3개의 자외선 파장 (436, 405, 365nm) 을 효율적으로 활용하도록 개발되었으며 안정정인 조사와 긴 수명의 고강도 광원입니다. 램프의 아크 사이즈가 점 광원의 아크 사이즈에 가까워 광학시스템에 의해 빛을 쉽게 모으고 확산시킬 수 있으며 균일한 조도 분포를 쉽게 얻을 수 있습니다.
크세논 쇼트 아크 램프 (~500W) 크세논 쇼트 아크 램프 (~500W) 이러한 크세논 쇼트 아크 램프들은 크세논 가스로 충전된 고강도 점 광원으로, 가시 광선에서 적외선 까지 범위의 주광과 유사한 지속적인 스펙트럼을 갖고 있습니다: 정확한 컬러 렌더링을 위한 뛰어난 광원. 이러한 램프들은 분광학, 현미경, 솔라 시뮬레이터 및 다양한 유형의 검사에 광원으로 사용됩니다.
컴팩트 크세논 램프 컴팩트 크세논 램프 우시오의 UXR™ 시리즈 크세논 램프는 충격과 압력에 대한 우수한 내성을 제공하기 위해 세라믹과 사파이어를 주요 부품으로 한 우리의 독점적인 최적화된 설계를 바탕으로 개발되었습니다. 램프는 번거로운 광축 조정이 필요없이 특별한 색상 렌더링 특성을 효율적으로 추출할 수 있도록 거울을 통합하여 컴팩트한 사이즈와 가벼운 무게가 주요 특징입니다.
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