이 투영 정렬기는 우리의 특별한 넓은 영역 프로젝터 렌즈 기술, 광원 및 우시오가 오랜 동안 개발해온 광학 기술을 사용하고 있습니다. 마스크를 건드리지 않고 8인치 까지 웨이퍼의 원샷 노출을 제공합니다. 큰 피사계 심도는 비평면 웨이퍼의 적절한 노출을 가능하게 해 근접 정렬기로는 불가능했던 높은 생산성과 생산량을 달성합니다.
【구성 기술】
- 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함
- 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다.
- 경쟁자가 없는 넓은 영역 프로젝터 렌즈
롤투롤 리소그래피 기구 UFX 시리즈
현재 우시오의 플렉서블 기판용 근접/투영 노출 시스템은 800 유닛 이상의 이력 기록을 가지고 있습니다.
고효율 고해상도 노출은 우리의 특별히 개발된 고출력 램프 및 우리의 광학 시스템 기술 분야에서 확립된 명성을 최대로 활용한 프로젝터 렌즈로 달성됩니다.
【구성 기술】
- 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함
- 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다.
- 경쟁자가 없는 넓은 영역 프로젝터 렌즈
점 UV 조사 유닛 Spot Cure 시리즈
Spot Cure 시리즈는 사용 편의성과 환경적 고려사항을 추구하여 30년 이상 축적된 우리의 광 시스템 기술을 활용합니다. 우리는 다양한 렌즈 및 라인과 작업물의 상황에 맞는 옵션들을 제공합니다.
초고압 UV 램프(~500W)
우시오의 초고압 UV 램프는 3개의 자외선 파장 (436, 405, 365nm) 을 효율적으로 활용하도록 개발되었으며 안정정인 조사와 긴 수명의 고강도 광원입니다.
램프의 아크 사이즈가 점 광원의 아크 사이즈에 가까워 광학시스템에 의해 빛을 쉽게 모으고 확산시킬 수 있으며 균일한 조도 분포를 쉽게 얻을 수 있습니다.
크세논 쇼트 아크 램프 (~500W)
이러한 크세논 쇼트 아크 램프들은 크세논 가스로 충전된 고강도 점 광원으로, 가시 광선에서 적외선 까지 범위의 주광과 유사한 지속적인 스펙트럼을 갖고 있습니다: 정확한 컬러 렌더링을 위한 뛰어난 광원. 이러한 램프들은 분광학, 현미경, 솔라 시뮬레이터 및 다양한 유형의 검사에 광원으로 사용됩니다.
컴팩트 크세논 램프
우시오의 UXR™ 시리즈 크세논 램프는 충격과 압력에 대한 우수한 내성을 제공하기 위해 세라믹과 사파이어를 주요 부품으로 한 우리의 독점적인 최적화된 설계를 바탕으로 개발되었습니다. 램프는 번거로운 광축 조정이 필요없이 특별한 색상 렌더링 특성을 효율적으로 추출할 수 있도록 거울을 통합하여 컴팩트한 사이즈와 가벼운 무게가 주요 특징입니다.
