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제품명 제품개요 주용도 및 분야 파장
중압 램프 중압 램프 USHIO의 중압램프는 0.5KW에서 35KW범위내에서 고객의 NEEDS에 맞춰 제공하고 있습니다. 중압램프는 저압램프 및 아말감램프에 비해 단위길이당 출력이 높아 고출력이 필요하거나 공간의 제약이 있는 현장에 적용이 용이합니다. 또한 다종의 램프베이스를 보유하고 있어 다양한 고객의 요구에 대응이 가능하며 램프의 교체가 용이하도록 설계되어 있습니다.
대형 필드 스테퍼 UX-5 시리즈 UX-7 시리즈 대형 필드 스테퍼 UX-5 시리즈 UX-7 시리즈 우시오는 서버와 PC 그리고 스마트폰 및 태블릿 PC와 같은 휴대 기기에 채택된 최신 패키징 어플리케이션용 특수 스테퍼를 제공합니다. 스테퍼는 패널 사이즈와 오랜 시간 동안 광원 및 광학 기술 분야에서의 전문성으로 함양된 우시오의 독점적인 넓은 영역 투영 렌즈 기술에 해당하는 단계를 사용하고 있는 패키지 기판을 위한 것입니다. 고해상도와 최신 패키징 기판에 요구되는 오버레이 정확성을 실현하면서 높은 생산성을 구현합니다. 【구성 기술】 - 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함 - 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다. - 경쟁자가 없는 넓은 영역 프로젝터 렌즈
광범위 투영 정렬기 UX-4 시리즈 광범위 투영 정렬기 UX-4 시리즈 이 투영 정렬기는 우리의 특별한 넓은 영역 프로젝터 렌즈 기술, 광원 및 우시오가 오랜 동안 개발해온 광학 기술을 사용하고 있습니다. 마스크를 건드리지 않고 8인치 까지 웨이퍼의 원샷 노출을 제공합니다. 큰 피사계 심도는 비평면 웨이퍼의 적절한 노출을 가능하게 해 근접 정렬기로는 불가능했던 높은 생산성과 생산량을 달성합니다. 【구성 기술】 - 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함 - 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다. - 경쟁자가 없는 넓은 영역 프로젝터 렌즈
접촉/근접 정렬기 UX-3 시리즈 접촉/근접 정렬기 UX-3 시리즈 이 마스크 정렬기는 우시오가 수년에 걸쳐 개발해온 광원과 광학 기술을 사용하고 있습니다. 이 노출 기기는 ihg 선을 지원할 뿐만 아니라 깊은 UV 범위 또한 지원합니다. 【구성 기술】 - 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함 - 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다.
수동 타입 접촉/근접 정렬기 UX-1시리즈 수동 타입 접촉/근접 정렬기 UX-1시리즈 이 마스크 정렬기는 우시오가 수년에 걸쳐 개발해온 광원과 광학 기술을 사용하고 있습니다. 이 노출 기기는 ihg 선을 지원할 뿐만 아니라 깊은 UV 범위 또한 지원합니다. 【구성 기술】 - 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함 - 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다.
롤투롤 리소그래피 기구 UFX 시리즈 롤투롤 리소그래피 기구 UFX 시리즈 현재 우시오의 플렉서블 기판용 근접/투영 노출 시스템은 800 유닛 이상의 이력 기록을 가지고 있습니다. 고효율 고해상도 노출은 우리의 특별히 개발된 고출력 램프 및 우리의 광학 시스템 기술 분야에서 확립된 명성을 최대로 활용한 프로젝터 렌즈로 달성됩니다. 【구성 기술】 - 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함 - 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다. - 경쟁자가 없는 넓은 영역 프로젝터 렌즈
UV 포토레지스트 경화 시스템Unihard UV 포토레지스트 경화 시스템 Unihard 이 자외선 조사 기기는 LSI 제조 라인의 포토레지스트 경화에 사용합니다. 초고압 UV 램프와 엑시머 램프를 장착하여 드라이 에칭 시 플라즈마 내성 향상, 이온 주입 중의 포토레지스트 가스 방출 및 화상 방지, 전하 중화, 스트레스 제거 및 로우k 경화와 같은 다양한 응용 작업에 사용됩니다.
전하 중화 시스템 전하 중화 시스템 강하고 깊은 자외선 조사는 EPROM 및 플래쉬 메모리의 전화를 중화합니다. 플라즈마 처리에 문제가 될 수도 있는 전하를 중화합니다.
UV 즉석 건조 기기 유니큐어 시스템 UV 즉석 건조 기기 유니큐어 시스템 고출력, 컴팩트 UV 경화 및 건조 장비는 저온 처리를 달성했습니다. UV 강도 및 의도하는 목적에 필요한 조사 영역에 따라 램프 및 기타 구성 요소를 선택할 수 있습니다. 지침 매뉴얼은 여기에서 (등록이 필요합니다)
LED 스팟 UV 조사 유닛 SPL-2 LED 스팟 UV 조사 유닛 SPL-2 이 점 경화 시리즈 LED 타입은 30년이 넘는 실제 결과물들을 갖고 있습니다. 지금까지 개발해온 우리의 광학 기술을 활용하여 기존 LED 타입으로는 해결할 수 없었던 문제들에 대한 해결책을 제공합니다. 우리는 고객의 필요에 맞는 제품을 제안합니다.
점 UV 조사 유닛Spot Cure 시리즈 점 UV 조사 유닛 Spot Cure 시리즈 Spot Cure 시리즈는 사용 편의성과 환경적 고려사항을 추구하여 30년 이상 축적된 우리의 광 시스템 기술을 활용합니다. 우리는 다양한 렌즈 및 라인과 작업물의 상황에 맞는 옵션들을 제공합니다.
과학용 광원 유닛 옵티컬 Modulex 과학용 광원 유닛 옵티컬 Modulex 이 데스크탑 광원 유닛은 단순한 평행 IR, UV 및 가시광선을 제공하며 분광법 및 태양 전지 평가에 이상적입니다. 모든 모델은 높은 평행성, 고출력 광원 실험용으로 조정이 필요 없는 광학 램프 축을 갖고 있습니다.
다목적 노출 유닛 Multilight 다목적 노출 유닛 Multilight 접촉/근접 교정기와 함께 사용하며 “Multilight”는 다양한 변형이 가능합니다. 미세한 필터링을 요구하는 응용분야에 추천합니다.
초고압 UV 램프(~500W) 초고압 UV 램프(~500W) 우시오의 초고압 UV 램프는 3개의 자외선 파장 (436, 405, 365nm) 을 효율적으로 활용하도록 개발되었으며 안정정인 조사와 긴 수명의 고강도 광원입니다. 램프의 아크 사이즈가 점 광원의 아크 사이즈에 가까워 광학시스템에 의해 빛을 쉽게 모으고 확산시킬 수 있으며 균일한 조도 분포를 쉽게 얻을 수 있습니다.
초고압 UV 램프(500W~35kW) 초고압 UV 램프(500W~35kW) 점점 다양해지는 요구에 대응하기 위해 기기 제조업체들과 공동으로 개발한 이 리소그래피 UV 램프는 사용자들의 신뢰와 더불어 큰 갈채를 받고 있습니다. 우리의 폭넓은 500 W ~ 35kW급 램프 라인업에서 생산성을 지원하고 생산량을 개선할 수 있는 최적의 조사 솔루션을 제공할 수 있습니다. 우리는 또한 귀사가 개발한 기기에 맞춘 램프도 개발할 수 있습니다.
크세논 쇼트 아크 램프 (~500W) 크세논 쇼트 아크 램프 (~500W) 이러한 크세논 쇼트 아크 램프들은 크세논 가스로 충전된 고강도 점 광원으로, 가시 광선에서 적외선 까지 범위의 주광과 유사한 지속적인 스펙트럼을 갖고 있습니다: 정확한 컬러 렌더링을 위한 뛰어난 광원. 이러한 램프들은 분광학, 현미경, 솔라 시뮬레이터 및 다양한 유형의 검사에 광원으로 사용됩니다.
딮 UV 램프 딮 UV 램프 크세논 램프를 기반으로 하는 수은 증기 충전 고강도 점 광원 램프입니다. 230~320 nm의 파장 범위의 원자외선 조사가 특징이며 짧은 파장의 광화학 반응, UV 경화 및 리소그래피에 사용됩니다.
UV-LED 균일선 조명 광원UniLine UV-LED 균일 선 조명 광원 UniLine 이 제품 라인 광원은 고강도, 높은 균일성의 UV 조사, 다중 파장을 지원합니다. - 독점적인 광학 설계는 10~150mm의 다양한 조사 거리를 지원합니다. 조사 길이는 줄일 수 있습니다.
UV-LED 균일표면 조명 광원UniField UV-LED 균일 표면 조명 광원 UniField 이 UV LED 조사 유닛은 넓은 영역, 고강도 및 높은 균일 조사의 다중 파장의 선택이 가능합니다. 설치된 우시오의 독점적인 렌즈는 증가된 조사 거리로 인한 조도 손실을 최소화 합니다.
인쇄용 UV-LED
Uni Jet 시리즈 인쇄용 UV-LED Uni Jet 시리즈 우시오의 UniJet 시리즈는 UV 경화 및 인쇄에 대한 까다로운 요구를 만족시키기 위해 최적으로 설계되고 개발된 모듈식 UV 광원으로 구성되어 있습니다. 이 이상적인 광원 기술은 기존의 램프 기반의 UV 광원에 대한 대안으로 추구되어 왔습니다. 우시오의 M, L, I, E 및 A 시리즈 형태의 다양하고 고객에 맞춘 설계는 UV 경화 및 인쇄 산업 분야와 수많은 상업적 및 산업적 응용 분야의 기능적 요구 사항을 충족시키기 위해 개발되었습니다. 이러한 모듈들은 수냉식, 공기 냉각식 및 다양한 디밍 기능들을 결합하여 각각의 고객의 사양과 요구 사항을 보장합니다.
초박형 휴대 UV 조사 미터 UIT-θ365 초박형 휴대 UV 조사 미터 UIT-θ365 이 무선 조사 미터의 두께는 단지 4.9mm입니다. 광학 필름 코팅, 정밀 광학 부품 및 렌즈의 접착, 광원과 물체 사이의 UV 프린팅 공정, 심지어는 접근하기 힘든 장소까지도 측정합니다.
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