取締役(2020年9月10日 現在)

取締役
代表取締役社長
    内藤 宏治
代表取締役
    川村 直樹
取締役
    神山 和久
取締役
    牛尾 志朗
社外取締役
    原 良也
社外取締役
    金丸 恭文
社外取締役
    橘・フクシマ・咲江
社外取締役
    佐々木 豊成
取締役(常勤監査等委員)
   小林 敦之
社外取締役(監査等委員)
   杉原 麗
社外取締役(監査等委員)
   須永 明美
 

執行役員(2021年4月1日 現在)

執行役員社長

内藤 宏治

専務執行役員 川村 直樹 事業統括本部長兼システムソリューション事業部長
兼インキュベーションセンター長
常務執行役員 中野 哲男 事業統括本部副本部長兼光源事業部長
上級執行役員 朝日 崇文 経営統括本部長
井ノ迫 伸啓 システムソリューション事業部EUV BU長
執行役員 直原 正人 システムソリューション事業部カスタマーサービスセンター長
小高 大樹 R&D本部長
河本 雅人 光源事業部副事業部長