共同実験・デモ機のご案内

エキシマVUV光は希ガスや希ガスハライド化合物のランプから生みだされる非常にエネルギーの高い光です。

希ガスや希ガスハライド化合物のガスが封じられたランプに外部から高いエネルギー電子を与えると放電プラズマ（誘電体バリア放電）が多数発生します。このプラズマは高いエネルギー電子を包含しており、かつ瞬時に消滅するという特徴を持っています。このプラズマ放電により、放電ガス（希ガス）の原子が励起され、瞬間的にエキシマ状態（Xe）となります（エネルギーの高い軌道原子に励起され、エキシマ励起分子になります）。このエキシマ状態から元の状態（基底状態）に戻るとき、そのエキシマ特有のスペクトルを発光します。この光をエキシマVUV光と呼んでいます。

表面処理用エキシマ照射装置のご紹介

■取扱説明書や仕様書はこちら（会員登録が必要です）

赤色レーザーダイオードの光を直接用いた新発想の流体可視化用ハイパワーシートビームレーザー光源です。 高速度カメラとの組合せで、流速の空間分布を得ることができます^※1。 レーザーダイオードの光を直接使うので、従来使用されているDPSSレーザー^※2に比べ、ハイパワーながら低価格、低消費電力を実現しました。 自動車、航空機はもとより、建設、空調機器、半導体製造装置、医療機器等においても、空間的な流れの理解・把握はエンジニアリング上欠かせないものとなっています。 ※1 解析方法により、 PIV (Particle Image Velocimetry), PTV (Particle Traking Velocimetry)　と呼ばれる流体解析に広く使われる手法です。 ※2 Diode Pumped Solid State。波長変換による可視光域レーザーです。

水銀フリーのUVランプを搭載した業務用オゾン脱臭・除菌装置です。UVとオゾンの「ダブル脱臭」により、従来取れにくかったニオイも脱臭可能です。また、ウシオ独自のオゾン生成コントロール技術により、脱臭や除菌・ウイルス除去に効果があるオゾンの生成量が落ちません

ウシオは光と自然界に存在するものだけを使ったクリーンな新技術によって、安心・安全な空間を目指します。

ウシオでは、サーバーやＰＣ、スマートフォン、タブレット端末等の携帯機器に採用される最先端パッケージングアプリケーションに特化したステッパーを提供してきました。ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用い、パネルサイズに対応したステージを用いたパッケージ基板向けステッパーです。最先端パッケージ基板に求められる高い解像性や重ね合せ精度を実現しつつ、高生産性を達成しています。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧ＵＶランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ ・基板特有の歪に対応したアライメント技術

ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用いたプロジェクションアライナーです。8インチまでのウェハをマスクと非接触で一括露光することが可能です。広い焦点深度を用いた平らでないウェハに対する露光を可能にし、プロキシミティアライナーには無い高生産性、高歩留りを達成します。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧ＵＶランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ

本製品は生産終了となりました。 プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」生産終了のご案内(396KB）
代替品はこちら→オート機

ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系

本製品は生産終了となりました。 マスクアライナー「UX-1シリーズ」生産終了のご案内(396KB）
代替品はこちら→マニュアル機

ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系

累積800台以上の市場実績がある、ウシオのフレキシブル基板用プロキシミティ/投影露光装置のラインナップ。専用に開発した高出力ランプ、定評のある光学系技術を駆使した投影レンズにより、高効率で高解像度な露光を実現します。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧ＵＶランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ

紫外線照射装置として、LSI製造ラインで採用されている紫外線ホトレジスト硬化です。 超高圧UVランプ、エキシマランプ を搭載し、ドライエッチング時の耐プラズマ性の向上、イオン注入時のレジスト脱ガスおよび焼きしめ、電荷の消去、ストレスイレース、Low-kキュアなど、さまざまな用途で活用されています。 本製品は2023年9月末日をもって新規装置の受注を終了させていただきます。 2035年9月末までは、ランプユニット、ホットプレート等の主要保守・消耗部品につきましては、提供に問題ない体制を準備する予定です。 詳細はこちらをご覧ください

強力な深紫外線照射により、EPROM、フラッシュメモリなどの電荷を除去。各種プラズマプロセスで問題となるチャージングを消去します。 本製品は2023年9月末日をもって新規装置の受注を終了させていただきます。 2035年9月末までは、ランプユニット、ホットプレート等の主要保守・消耗部品につきましては、提供に問題ない体制を準備する予定です。 詳細はこちらをご覧ください

世の中のニーズである「安価」、「使いやすさ」、「水銀レス」を追求したLEDタイプのスポットキュア。 ヘッドの種類はΦ3mm～Φ10mmまで取り揃えており、必要なエリアへの照射が可能です。 取扱説明書はこちら（会員登録が必要です）

Deep UVマルチライトは均一・平行光源として豊富な実績のあるマルチライトシリーズの基本構成はそのままに波長230nm～330nmのDeep UV領域に最適化した光源ユニットです。 リソグラフィー用途はもちろん、表面改質光源、各種光化学反応評価光源としても応用頂けます。

ハロゲンランプヒータとは、ハロゲンランプの赤外域の光を、効率よく取り出すために開発された加熱源で、投入電力の85％以上が熱に変換され、非常に高効率なエネルギー源です。 ハロゲンランプヒータによる加熱は、フレキシビリティとコントロール性に富み、ほかの熱源にない優れた特徴を有し、半導体・LCD等の電子デバイス製造プロセス、自動車部品加熱、CFRP等の樹脂素材加熱など、さまざまな産業分野にてウシオの熱処理システムが適用されています。

UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの光により、数百μsec～数十msecの点灯時間で、基板・材料の表面へ非接触・瞬間加熱を実現。 Si／SiCウェーハ、ガラス、プラスチックフィルム、フレキシブル基板など多様な研究開発から生産（製造）ライン用途まで適用が可能です。

ウシオの「UniCube Mシリーズ」は、UV感光樹脂を用いた接着・硬化・剥離用途で使用される面一括照射タイプのUV-LED照射器です。 前後左右4方向に連結させるセミカスタオーダー方式を採用することで、面一括照射タイプでご要望の多い様々なワークサイズへの対応や高い照度による高スループット、 早期復旧・高いメンテナンス性がご提供可能になりました。 各種サイズのデモ機をご用意しておりますので、お客様のワークを用いた照射実験が可能です。 UVランプからの置き換えや新規プロセスへのご検討に、是非ご活用ください。

ウシオのUniJetシリーズは、紫外線硬化や印刷に関わる市場の厳しい要求を満たすために最適に設計・開発されたUV-LEDモジュールです。 UniJetシリーズは従来の標準的なUVランプの代替として求められていた理想的な光源であり、このモジュールが併せ持つ水冷、空冷、調光の様々な機能によって、それぞれのお客様が求める仕様やニーズを確実に実現することができます。

『ラベル新聞』2023年3月15日号　PDF（1.4MB）

『ラベル新聞』2022年3月15日号　PDF（1.25MB）

『ラベル新聞』2021年9月1日号　PDF（1.04MB）

『ラベル新聞』2021年3月15日号　PDF（1.24MB）

『ラベル新聞』2020年4月15日号　PDF（1MB）

『ラベル新聞』2019年9月15日号　PDF（4MB）

・ドキュメント複写機で採用、実績のあるスキャナー用光源を応用。画像処理、特殊照明用光源として最適です。 ・光学シミュレーションに基づいた特殊プリズム加工をライトガイドに施すことでご要望に応じた配光をご提供します。 ・用途や目的、サイズに合わせた形状検討が可能です。 ・ライドガイドを含め、全て内製設計ですので、ちょっとした試作や仕様変更にフレキシブルに対応可能です。

光の専門メーカーとしての経験と実績から生まれた「ユニメーターシリーズ」。ユーザーの立場から「本当の使いやすさ」をカタチにした、コンパクトな光測定器です。照光装置、UVキュアリング、洗浄･殺菌装置など、ご要望に応じた照度管理をご提案します。 ■校正のお申し込みはこちら ■トラブルシューティングはこちら（会員登録が必要です） 弊社製紫外線照度計（ＵＩＴ－２０１シリーズ）用受光器シリアル番号表記方法変更のご案内（382KB）

光の専門メーカーとしての経験と実績から生まれた「ユニメーターシリーズ」。ユーザーの立場から「本当の使いやすさ」をカタチにした、コンパクトな光測定器です。照光装置、UVキュアリング、洗浄･殺菌装置など、ご要望に応じた照度管理をご提案します。 ■校正のお申し込みはこちら ■トラブルシューティングはこちら（会員登録が必要です）

薄さ4.9mm、ワイヤレスタイプの照度計です。 光学フィルムのコーティング、精密部品やレンズの接着、UV印刷の工程など光源部と照射対象物の距離が狭い環境下でも測定することができます。 ■校正のお申し込みはこちら ■取扱説明書やトラブルシューティングはこちら（会員登録が必要です）

曲面（平面から±R50㎜）を含む光学部品の分光反射率（紫外～近赤外域）を瞬時に測定します。ウシオ独自の測定部により、オンサイトで大型製品の現品測定が可能です。 ■校正のお申し込みはこちら ■取扱説明書やトラブルシューティングはこちら（会員登録が必要です）

ウシオの照度計は、産総研等で値付けされた標準電球をベースにトレースされた絶対値が測定できる照度計です。紫外・可視・赤外光までの幅広い帯域、また、定常光・フラッシュ光・ＬＥＤ等様々な光源を測定することが可能です。 ■校正のお申し込みはこちら ■取扱説明書やトラブルシューティングはこちら（会員登録が必要です）