共同実験・デモ機のご案内
光、コラボレーション。
共同実験・開発または、ご購入を検討されているお客さま向けに、
共同実験装置・スペースをご用意しています。
また、共同研究・実験や、サンプルをお預かりしての実験、テスト機の貸し出しもご相談いただけます。
※詳細については、お申し込みフォームまたはお電話にてお問い合わせください。
※実験内容やテスト機使用の目的・用途などによって、ご希望に添いかねる場合もございますので、予めご了承ください。
共同実験
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エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット
エキシマVUV光は希ガスや希ガスハライド化合物のランプから生みだされる非常にエネルギーの高い光です。
希ガスや希ガスハライド化合物のガスが封じられたランプに外部から高いエネルギー電子を与えると放電プラズマ（誘電体バリア放電）が多数発生します。このプラズマは高いエネルギー電子を包含しており、かつ瞬時に消滅するという特徴を持っています。このプラズマ放電により、放電ガス（希ガス）の原子が励起され、瞬間的にエキシマ状態（Xe）となります（エネルギーの高い軌道原子に励起され、エキシマ励起分子になります）。このエキシマ状態から元の状態（基底状態）に戻るとき、そのエキシマ特有のスペクトルを発光します。この光をエキシマVUV光と呼んでいます。
表面処理用エキシマ照射装置のご紹介
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可視化用シートビームレーザー光源
赤色レーザーダイオードの光を直接用いた新発想の流体可視化用ハイパワーシートビームレーザー光源です。 高速度カメラとの組合せで、流速の空間分布を得ることができます※1。 レーザーダイオードの光を直接使うので、従来使用されているDPSSレーザー※2に比べ、ハイパワーながら低価格、低消費電力を実現しました。 自動車、航空機はもとより、建設、空調機器、半導体製造装置、医療機器等においても、空間的な流れの理解・把握はエンジニアリング上欠かせないものとなっています。 ※1 解析方法により、 PIV (Particle Image Velocimetry), PTV (Particle Traking Velocimetry) と呼ばれる流体解析に広く使われる手法です。 ※2 Diode Pumped Solid State。波長変換による可視光域レーザーです。 -
光オゾン脱臭・除菌装置「XEFIRIA（ゼフィリア）」
水銀フリーのUVランプを搭載した業務用オゾン脱臭・除菌装置です。UVとオゾンの「ダブル脱臭」により、従来取れにくかったニオイも脱臭可能です。また、ウシオ独自のオゾン生成コントロール技術により、脱臭や除菌・ウイルス除去に効果があるオゾンの生成量が落ちません -
ウシオの環境衛生向けUVソリューション
ウシオは光と自然界に存在するものだけを使ったクリーンな新技術によって、安心・安全な空間を目指します。 -
分割投影露光装置「UX-5シリーズ」
ウシオでは、サーバーやＰＣ、スマートフォン、タブレット端末等の携帯機器に採用される最先端パッケージングアプリケーションに特化したステッパーを提供してきました。ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用い、パネルサイズに対応したステージを用いたパッケージ基板向けステッパーです。最先端パッケージ基板に求められる高い解像性や重ね合せ精度を実現しつつ、高生産性を達成しています。
【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧ＵＶランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ ・基板特有の歪に対応したアライメント技術 -
投影露光装置「UX-4シリーズ」
ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用いたプロジェクションアライナーです。8インチまでのウェハをマスクと非接触で一括露光することが可能です。広い焦点深度を用いた平らでないウェハに対する露光を可能にし、プロキシミティアライナーには無い高生産性、高歩留りを達成します。
【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧ＵＶランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ -
プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」
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マスクアライナー「UX-1シリーズ」
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ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」
累積800台以上の市場実績がある、ウシオのフレキシブル基板用プロキシミティ/投影露光装置のラインナップ。専用に開発した高出力ランプ、定評のある光学系技術を駆使した投影レンズにより、高効率で高解像度な露光を実現します。
【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧ＵＶランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ -
紫外線ホトレジスト硬化装置「ユニハード」
紫外線照射装置として、LSI製造ラインで採用されている紫外線ホトレジスト硬化です。 超高圧UVランプ、エキシマランプ を搭載し、ドライエッチング時の耐プラズマ性の向上、イオン注入時のレジスト脱ガスおよび焼きしめ、電荷の消去、ストレスイレース、Low-kキュアなど、さまざまな用途で活用されています。 本製品は2023年9月末日をもって新規装置の受注を終了させていただきます。 2035年9月末までは、ランプユニット、ホットプレート等の主要保守・消耗部品につきましては、提供に問題ない体制を準備する予定です。 詳細はこちらをご覧ください -
チャージイレース装置
強力な深紫外線照射により、EPROM、フラッシュメモリなどの電荷を除去。各種プラズマプロセスで問題となるチャージングを消去します。 本製品は2023年9月末日をもって新規装置の受注を終了させていただきます。 2035年9月末までは、ランプユニット、ホットプレート等の主要保守・消耗部品につきましては、提供に問題ない体制を準備する予定です。 詳細はこちらをご覧ください -
多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」
Deep UVマルチライトは均一・平行光源として豊富な実績のあるマルチライトシリーズの基本構成はそのままに波長230nm～330nmのDeep UV領域に最適化した光源ユニットです。 リソグラフィー用途はもちろん、表面改質光源、各種光化学反応評価光源としても応用頂けます。 -
ハロゲンランプヒータ
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瞬間加熱・高温焼成 フラッシュランプアニール
UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの光により、数百μsec～数十msecの点灯時間で、基板・材料の表面へ非接触・瞬間加熱を実現。 Si／SiCウェーハ、ガラス、プラスチックフィルム、フレキシブル基板など多様な研究開発から生産（製造）ライン用途まで適用が可能です。 -
面照射UV-LED照射器「UniCube Mシリーズ」
ウシオの「UniCube Mシリーズ」は、UV感光樹脂を用いた接着・硬化・剥離用途で使用される面一括照射タイプのUV-LED照射器です。 前後左右4方向に連結させるセミカスタオーダー方式を採用することで、面一括照射タイプでご要望の多い様々なワークサイズへの対応や高い照度による高スループット、 早期復旧・高いメンテナンス性がご提供可能になりました。 各種サイズのデモ機をご用意しておりますので、お客様のワークを用いた照射実験が可能です。 UVランプからの置き換えや新規プロセスへのご検討に、是非ご活用ください。 -
印刷用UV-LED「UniJetシリーズ」
ウシオのUniJetシリーズは、紫外線硬化や印刷に関わる市場の厳しい要求を満たすために最適に設計・開発されたUV-LEDモジュールです。 UniJetシリーズは従来の標準的なUVランプの代替として求められていた理想的な光源であり、このモジュールが併せ持つ水冷、空冷、調光の様々な機能によって、それぞれのお客様が求める仕様やニーズを確実に実現することができます。『ラベル新聞』2022年3月15日号 PDF（1.25MB）
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ライトガイド式 画像処理用ライン光源
・ドキュメント複写機で採用、実績のあるスキャナー用光源を応用。画像処理、特殊照明用光源として最適です。 ・光学シミュレーションに基づいた特殊プリズム加工をライトガイドに施すことでご要望に応じた配光をご提供します。 ・用途や目的、サイズに合わせた形状検討が可能です。 ・ライドガイドを含め、全て内製設計ですので、ちょっとした試作や仕様変更にフレキシブルに対応可能です。 -
紫外線照度計「UIT-201」
光の専門メーカーとしての経験と実績から生まれた「ユニメーターシリーズ」。ユーザーの立場から「本当の使いやすさ」をカタチにした、コンパクトな光測定器です。照光装置、UVキュアリング、洗浄･殺菌装置など、ご要望に応じた照度管理をご提案します。 ■校正のお申し込みはこちら ■トラブルシューティングはこちら（会員登録が必要です） 弊社製紫外線照度計（ＵＩＴ－２０１シリーズ）用受光器シリアル番号表記方法変更のご案内（382KB） -
紫外線積算光量計「UIT-250」
光の専門メーカーとしての経験と実績から生まれた「ユニメーターシリーズ」。ユーザーの立場から「本当の使いやすさ」をカタチにした、コンパクトな光測定器です。照光装置、UVキュアリング、洗浄･殺菌装置など、ご要望に応じた照度管理をご提案します。 ■校正のお申し込みはこちら ■トラブルシューティングはこちら（会員登録が必要です） -
紫外線薄型照度計「UIT-θシリーズ」
薄さ4.9mm、ワイヤレスタイプの照度計です。 光学フィルムのコーティング、精密部品やレンズの接着、UV印刷の工程など光源部と照射対象物の距離が狭い環境下でも測定することができます。 ■校正のお申し込みはこちら ■取扱説明書やトラブルシューティングはこちら（会員登録が必要です） -
分光反射率計「URE-60」
曲面（平面から±R50㎜）を含む光学部品の分光反射率（紫外～近赤外域）を瞬時に測定します。ウシオ独自の測定部により、オンサイトで大型製品の現品測定が可能です。 ■校正のお申し込みはこちら ■取扱説明書やトラブルシューティングはこちら（会員登録が必要です） -
分光放射照度計「USR-45シリーズ」
ウシオの照度計は、産総研等で値付けされた標準電球をベースにトレースされた絶対値が測定できる照度計です。紫外・可視・赤外光までの幅広い帯域、また、定常光・フラッシュ光・ＬＥＤ等様々な光源を測定することが可能です。 ■校正のお申し込みはこちら ■取扱説明書やトラブルシューティングはこちら（会員登録が必要です）
テスト機
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エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット
エキシマVUV光は希ガスや希ガスハライド化合物のランプから生みだされる非常にエネルギーの高い光です。
希ガスや希ガスハライド化合物のガスが封じられたランプに外部から高いエネルギー電子を与えると放電プラズマ（誘電体バリア放電）が多数発生します。このプラズマは高いエネルギー電子を包含しており、かつ瞬時に消滅するという特徴を持っています。このプラズマ放電により、放電ガス（希ガス）の原子が励起され、瞬間的にエキシマ状態（Xe）となります（エネルギーの高い軌道原子に励起され、エキシマ励起分子になります）。このエキシマ状態から元の状態（基底状態）に戻るとき、そのエキシマ特有のスペクトルを発光します。この光をエキシマVUV光と呼んでいます。
表面処理用エキシマ照射装置のご紹介
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可視化用シートビームレーザー光源
赤色レーザーダイオードの光を直接用いた新発想の流体可視化用ハイパワーシートビームレーザー光源です。 高速度カメラとの組合せで、流速の空間分布を得ることができます※1。 レーザーダイオードの光を直接使うので、従来使用されているDPSSレーザー※2に比べ、ハイパワーながら低価格、低消費電力を実現しました。 自動車、航空機はもとより、建設、空調機器、半導体製造装置、医療機器等においても、空間的な流れの理解・把握はエンジニアリング上欠かせないものとなっています。 ※1 解析方法により、 PIV (Particle Image Velocimetry), PTV (Particle Traking Velocimetry) と呼ばれる流体解析に広く使われる手法です。 ※2 Diode Pumped Solid State。波長変換による可視光域レーザーです。 -
光オゾン脱臭・除菌装置「XEFIRIA（ゼフィリア）」
水銀フリーのUVランプを搭載した業務用オゾン脱臭・除菌装置です。UVとオゾンの「ダブル脱臭」により、従来取れにくかったニオイも脱臭可能です。また、ウシオ独自のオゾン生成コントロール技術により、脱臭や除菌・ウイルス除去に効果があるオゾンの生成量が落ちません -
ウシオの環境衛生向けUVソリューション
ウシオは光と自然界に存在するものだけを使ったクリーンな新技術によって、安心・安全な空間を目指します。 -
405nm ファイバー出射型レーザーダイオード照射機 【お客様への貸し出しのご案内】
この度、弊社ではリソグラフィー・硬化・蛍光励起・検査などで簡易にご使用頂ける 405nmのファイバー出射型レーザーダイオード照射機を貸出しを開始致します。ご希望の方は、下記お問合せからお申込み下さい。 -
Blue 445 5.5W Laser
Necsel Blue Laserは、直列発光ダイオードを搭載し、5.5Wの出力を実現しています。優れた電力変換効率を持ち、ファイバ結合型のパッケージを標準装備しています。Necsel Blue Developer's Kitと組み合わせることで、すぐにでも開発に取り掛かることができます。 -
紫外線ホトレジスト硬化装置「ユニハード」
紫外線照射装置として、LSI製造ラインで採用されている紫外線ホトレジスト硬化です。 超高圧UVランプ、エキシマランプ を搭載し、ドライエッチング時の耐プラズマ性の向上、イオン注入時のレジスト脱ガスおよび焼きしめ、電荷の消去、ストレスイレース、Low-kキュアなど、さまざまな用途で活用されています。 本製品は2023年9月末日をもって新規装置の受注を終了させていただきます。 2035年9月末までは、ランプユニット、ホットプレート等の主要保守・消耗部品につきましては、提供に問題ない体制を準備する予定です。 詳細はこちらをご覧ください -
チャージイレース装置
強力な深紫外線照射により、EPROM、フラッシュメモリなどの電荷を除去。各種プラズマプロセスで問題となるチャージングを消去します。 本製品は2023年9月末日をもって新規装置の受注を終了させていただきます。 2035年9月末までは、ランプユニット、ホットプレート等の主要保守・消耗部品につきましては、提供に問題ない体制を準備する予定です。 詳細はこちらをご覧ください -
多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」
Deep UVマルチライトは均一・平行光源として豊富な実績のあるマルチライトシリーズの基本構成はそのままに波長230nm～330nmのDeep UV領域に最適化した光源ユニットです。 リソグラフィー用途はもちろん、表面改質光源、各種光化学反応評価光源としても応用頂けます。 -
ハロゲンランプヒータ
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面照射UV-LED照射器「UniCube Mシリーズ」
ウシオの「UniCube Mシリーズ」は、UV感光樹脂を用いた接着・硬化・剥離用途で使用される面一括照射タイプのUV-LED照射器です。 前後左右4方向に連結させるセミカスタオーダー方式を採用することで、面一括照射タイプでご要望の多い様々なワークサイズへの対応や高い照度による高スループット、 早期復旧・高いメンテナンス性がご提供可能になりました。 各種サイズのデモ機をご用意しておりますので、お客様のワークを用いた照射実験が可能です。 UVランプからの置き換えや新規プロセスへのご検討に、是非ご活用ください。 -
印刷用UV-LED「UniJetシリーズ」
ウシオのUniJetシリーズは、紫外線硬化や印刷に関わる市場の厳しい要求を満たすために最適に設計・開発されたUV-LEDモジュールです。 UniJetシリーズは従来の標準的なUVランプの代替として求められていた理想的な光源であり、このモジュールが併せ持つ水冷、空冷、調光の様々な機能によって、それぞれのお客様が求める仕様やニーズを確実に実現することができます。『ラベル新聞』2022年3月15日号 PDF（1.25MB）
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ライトガイド式 画像処理用ライン光源
・ドキュメント複写機で採用、実績のあるスキャナー用光源を応用。画像処理、特殊照明用光源として最適です。 ・光学シミュレーションに基づいた特殊プリズム加工をライトガイドに施すことでご要望に応じた配光をご提供します。 ・用途や目的、サイズに合わせた形状検討が可能です。 ・ライドガイドを含め、全て内製設計ですので、ちょっとした試作や仕様変更にフレキシブルに対応可能です。 -
紫外線照度計「UIT-201」
光の専門メーカーとしての経験と実績から生まれた「ユニメーターシリーズ」。ユーザーの立場から「本当の使いやすさ」をカタチにした、コンパクトな光測定器です。照光装置、UVキュアリング、洗浄･殺菌装置など、ご要望に応じた照度管理をご提案します。 ■校正のお申し込みはこちら ■トラブルシューティングはこちら（会員登録が必要です） 弊社製紫外線照度計（ＵＩＴ－２０１シリーズ）用受光器シリアル番号表記方法変更のご案内（382KB） -
紫外線積算光量計「UIT-250」
光の専門メーカーとしての経験と実績から生まれた「ユニメーターシリーズ」。ユーザーの立場から「本当の使いやすさ」をカタチにした、コンパクトな光測定器です。照光装置、UVキュアリング、洗浄･殺菌装置など、ご要望に応じた照度管理をご提案します。 ■校正のお申し込みはこちら ■トラブルシューティングはこちら（会員登録が必要です） -
紫外線薄型照度計「UIT-θシリーズ」
薄さ4.9mm、ワイヤレスタイプの照度計です。 光学フィルムのコーティング、精密部品やレンズの接着、UV印刷の工程など光源部と照射対象物の距離が狭い環境下でも測定することができます。 ■校正のお申し込みはこちら ■取扱説明書やトラブルシューティングはこちら（会員登録が必要です） -
分光反射率計「URE-60」
曲面（平面から±R50㎜）を含む光学部品の分光反射率（紫外～近赤外域）を瞬時に測定します。ウシオ独自の測定部により、オンサイトで大型製品の現品測定が可能です。 ■校正のお申し込みはこちら ■取扱説明書やトラブルシューティングはこちら（会員登録が必要です） -
分光放射照度計「USR-45シリーズ」
ウシオの照度計は、産総研等で値付けされた標準電球をベースにトレースされた絶対値が測定できる照度計です。紫外・可視・赤外光までの幅広い帯域、また、定常光・フラッシュ光・ＬＥＤ等様々な光源を測定することが可能です。 ■校正のお申し込みはこちら ■取扱説明書やトラブルシューティングはこちら（会員登録が必要です）