ハロゲンランプヒータ

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ハロゲンランプヒータとは、ハロゲンランプの赤外域の光を、効率よく取り出すために開発された加熱源で、投入電力の85%以上が熱に変換され、非常に高効率なエネルギー源です。
ハロゲンランプヒータによる加熱は、フレキシビリティとコントロール性に富み、ほかの熱源にない優れた特徴を有し、半導体・LCD等の電子デバイス製造プロセス、自動車部品加熱、CFRP等の樹脂素材加熱など、さまざまな産業分野にてウシオの熱処理システムが適用されています。

高効率なエネルギー源
投入電力の85%以上を赤外線に変換、放射する高効率なランプ式放射加熱源です。
消費電力の抑制は、ランニングコストの低減を実現します。
優れた昇降温性能
熱容量の小さなタングステンフィラメントを発熱体とし、非接触での高速昇降温が可能です。
例えばアルミニウムを加熱した場合、わずか10秒で300℃まで昇温可能です。
加熱時間の短縮による処理能力の向上を実現します。
また、常時電力を消費する抵抗加熱源と異なり、必要時ON、不要時OFFが可能であり、ランニングコストを低減します。
材料吸収特性にマッチングした光波長
各種金属の吸収特性とハロゲンランプヒータの出力波長がマッチしており、高効率のみならず、高周波加熱やホットエアーではできない加熱プロセスが可能になります。
高いコントロール性能
光学設計されたヒータユニットと専用PID制御システムにより、他の熱源では達成できない、優れた熱制御を実現します。
非接触で面内温度±5%の分布を達成。
小型・クリーンな熱源
ハロゲンランプヒータは、小型・軽量であるにもかかわらず、大きなエネルギーを出力できるため、狭い場所にも設置可能です。また、非接触加熱のため、クリーンな雰囲気を保ち、大気中・真空中など加熱雰囲気も問いません。光加熱はガスを放出することもなく、CO2放出削減にも効果があります。
長寿命で一定のエネルギー放射
ハロゲンサイクルの働きで、他のハロゲンランプヒータにはない長寿命設計が可能です。更に、他熱源のような経時変化がないため、寿命末期までほぼ一定のエネルギー放射を維持し、メンテナンス性の向上が図られます。
自動車
自動車のシャシー、アクスルを構成する鋼板のホットプレス、エンプラ・CFRP等の熱可塑性新素材の熱間成形などの工程において、従来の電気/ガス炉、通電加熱、誘導加熱に替わる加熱源として使用されます。近年では電気自動車・ハイブリッド車用二次電池製造プロセス、燃料電池自動車においては燃料電池スタック製造プロセス、樹脂製燃料タンク製造プロセスへの適用も進んでいます。
半導体
低温から高温まで、常圧から高真空まで、酸化膜形成、イオン注入後の活性化、シリサイド形成などの半導体製造プロセスにおいて業界標準の熱源として使用されます。また、アシストヒータや補助熱源として重要な役割を果たします。
フラットパネルディスプレイ
非接触加熱、高速昇降温が可能で、さらに基板大型化に対応するために最長2.5mまで長尺化を可能にしました。高真空のためのチャンバー内ベイキングにも有効です。
太陽電池
ハロゲンヒータランプによる非接触かつ高速昇降温は、焼成炉、CVD、乾燥などの熱処理装置に搭載され使用されています。
樹脂
熱可塑性樹脂成型の加熱源、ロールtoロールのフィルム連続加熱にハロゲンランプヒータは数多く利用されています。
家電製品その他
コンパクトカメラのレンズを成形するための金型の加熱、また、清潔な衛生環境が求められる食品の保温などにおいても、ハロゲンヒータの非接触加熱が有効です。

搭載光源