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LED加熱ユニット

特長

従来のハロゲンヒータを用いた熱源より光量の立ち上がり・立下りが圧倒的に速く
この特性を活かし”熱”の制御性向上、周辺部材の蓄熱低減などに貢献します。

LED配置レイアウトの自由度が高いために、制御・分割するゾーンを自由に選べます。
この特性を利用してウェーハ面内の温度分布を均一にしたり、部分的に加熱したり、外周部の温度を高くまたは低くして任意の分布を作ることができます。

光が当たる面の材料の吸収スペクトルに応じて、LEDの発光波長を選択することができます。

ハロゲンランプ(色温度3000K）とLED(波長400nm)の発光スペクトルと放射温度計の代表的な測定波長の関係を示しています。放射温度計の測定波長に対してハロゲンランプからの光は迷光となるが、LEDの波長は外すことができるので、迷光の影響がなく温度計測ができるようになります。

熱源の波長と材料の吸収率の関係性を改善できた例となります。

このように熱源の発光スペクトルと光照射面の材料の吸収スペクトルを合わせることで、従来のランプ加熱や電気炉、ホットプレートとは異なる加熱を実施できます。

強誘電体膜(HZO)のアニールにおけるハロゲンヒータを用いたランプ加熱との比較例を示します。

同一の強誘電特性を得るのに消費電力が削減できることを実証した例となります。