ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」

露光
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半導体
プリント基板・PKG

累積800台以上の市場実績がある、ウシオのフレキシブル基板用プロキシミティ/投影露光装置のラインナップ。専用に開発した高出力ランプ、定評のある光学系技術を駆使した投影レンズにより、高効率で高解像度な露光を実現します。

【要素技術】

・世界シェアNo.1の超高圧ＵＶランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系
・他に類を見ない大面積投影レンズ

幅広、薄型テープ対応

テープ幅は最大250mm、25μmt（PI）の薄物テープにも対応します。

大口径投影レンズ採用

飛躍的な歩留まり向上と高スループットを実現する、ウシオ独自の大口径投影レンズを搭載しています。

深い焦点深度

厚膜レジスト、変形テープにも対応します。

オートズーム機能

テープの伸縮に対応し、高い重ね合わせ精度を実現します。

COF
T-BGA
FPC
Touch Panel
Two Metal COF
TAB
など

UFXシリーズラインナップ

型式	UFX-2123	UFX-2477	UFX-2894
露光エリア	□100 mm	□140 mm	□250mm
テープ幅	～105 mm	156/158mm	250mm
解像力	9μm L/S	4μm L/S	5μm L/S
露光波長	ihg 線	i 線	i 線

【輸出に関するご注意】

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