ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」

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累積800台以上の市場実績がある、ウシオのフレキシブル基板用プロキシミティ/投影露光装置のラインナップ。専用に開発した高出力ランプ、定評のある光学系技術を駆使した投影レンズにより、高効率で高解像度な露光を実現します。


【要素技術】

・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載

・高い均一度を誇る独自の照射光学系

・他に類を見ない大面積投影レンズ

幅広、薄型テープ対応
テープ幅は最大165mm、25μmt(PI)の薄物テープにも対応します。
大口径投影レンズ採用
飛躍的な歩留まり向上と高スループットを実現する、ウシオ独自の大口径投影レンズを搭載しています。
深い焦点深度
厚膜レジスト、変形テープにも対応します。
オートズーム機能
テープの伸縮に対応し、高い重ね合わせ精度を実現します。
COF
T-BGA
FPC
Touch Panel
Two Metal COF
TAB
など

UFXシリーズ ラインナップ

型式 UFX-2894 UFX-2477 UFX-2468
露光エリア □250 mm □140mm
ロール幅 ~250 mm ~160mm
解像力 5μm L/S 4μm L/S 7μm L/S
露光波長 i 線 i 線 ih 線

【輸出に関するご注意】

本製品(又は技術)は、外国為替及び外国貿易法に基づくリスト規制の該当貨物(又は技術)になる場合がありますので、輸出(又は非居住者への技術の提供あるいは 外国において技術の提供をする目的での取引)を行なう場合には、経済産業大臣の 輸出許可(又は役務取引許可)が必要となる場合があります。必ず事前に弊社へご確認下さい。
 

型式一覧

搭載光源