FPCの微細化･高生産性を達成する露光装置をはじめ、CSPの高密度化に対応した有機フリップチップパッケージ向け露光装置、精密ドライ洗浄分野で高シェアを占めるエキシマランプ、医療分野で注目を集める免疫分析装置、長年にわたり定評のある太陽電池特性評価用ソーラーシミュレータなど、2009年夏から2010年春にかけて発表した論文10を掲載しています。

また、シリーズ「大学研究室を訪ねて」では、マイクロ･ナノ加工、バイオ･流体デバイスの研究開発に精力的に取り組む、香川大学准教授の鈴木孝明先生の研究室をご紹介しています。

（2010年08月）