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- 投影・バックライト
特集 第7回光源の科学と技術に関する国際会議
誘電体バリア放電を利用したAr,Krエキシマランプの開発DEVELOPMENT OF Ar,Kr,EXCIMER LAMPS USING DIELECTRIC BARRIR DISCHARGE 1995
- 投影・バックライト
第59回 応用物理学会/学術講演会 1998年(平成10年)秋季
17a-P2-1
4倍波シーディングによる
ArFレーザースペクトルの狭帯域化 1999
- 投影・バックライト
4th International Symposium on 193nm Lithography
ArF Excimer Laser for 193 nm Lithography 1999- 投影・バックライト
Electronic Journal ’99/3月号[1999年3月15日]
特集●CSP・BGA・ベアチップ実装《ウシオ電機のプリント配線板用露光装置》
次の主役はステップ&リピート方式
フレキシビリティと高精度で挑む 1999
- 投影・バックライト
照明学会公開研究会「新しい短波長光源・材料技術」
CLBOによる全固体深紫外レーザー光源All-solid-state, deep-UV laser source using CLBO crystals 2000
- 投影・バックライト
第60回応用物理学会学術講演会
21aⅢ4
3kHz ArF excimer laser for 193nm lithography 2000
- 投影・バックライト
レーザー学会学術講演会第20回年次大会
第60回応用物理学会学術講演会 講演予稿集(1999. 9. 甲南大学)
1p―H―1
2kHz ArF excimer laser for 193nm lithography 2000
- 投影・バックライト
レーザー研究 ’99/8号
CsLiB6O10結晶(CLBO)を用いた193nm光源の開発193 nm Generation by Optical Frequency Conversion Using
CsLiB6O10 Crystal(CLBO) 2000
- 投影・バックライト
Advanced High-Power Lasers and Applications
High power, narrowband, DUV laser sourceby frequency mixing in CLBO 2000
- 投影・バックライト
第61回応用物理学会学術講演会
次世代露光用ロングパルスF2レーザーの開発Development of F2 laser with long-duration-pulse for next-generation photolithography 2000