光技術情報誌「ライトエッジ」No.16
第59回 応用物理学会/学術講演会 1998年(平成10年)秋季
17a-P2-1
(1999年3月)
Ti:Al2O3レーザー(773.6nm)の
4倍波シーディングによる
ArFレーザースペクトルの狭帯域化
Spectral narrowing of ArF laser by seeding 4th
harmonic of Ti: Al2O3 laser
ウシオ総研つくば研究所:○出来恭一、斎藤隆志、佐久間純、南斎信乃夫、渡辺英典
URIT Tsukuba : K.Deki, T.Saito, J.Sakuma, S.Nanzai, H.Watanabe
Ti : Al2O3レーザー(773.6nm)の4倍波シーディングによるArFレーザーのスペクトルの狭帯域化を行い,ArFレーザースペクトル幅(FWHM)0.98pm,seedig効率82%(28mJ)を得た.seedingエネルギー47µJでのdelay timeと効率との関係を図2に示す.尚,用いたTi : Al2O3レーザー(773.6nm)は,パルス幅3nsecの532nm光で励起されたプリズム同調型Solar社のLX325CARATで,この共振器内に0.7,2.5mm計3枚の石英板をエタロン板として挿入し,狭帯域化を図った.このレーザーのパルス幅は24nsec, build uptime:355nsec, jitter:±10nsecであった.4倍発生には,Type2CLBO(386.8nm), Type1CLBO(258nm), Type1 BBO(193.4nm)を用いた.
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参考資料
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表1.背景
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表2.目的
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図3.Seeding実験装置配置図
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図4.ArF Excimer Laser不安定共振器配置図
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図5.ArF Excimer Laserの安定共振器と不安定共振器のレーザー出力比較[1Hz]
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図6.ArF Excimer Laser193nm出力(不安定共振器使用時例)
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図7.安定共振器(OC30%Rflat)使用時の193nmパルス波形
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図8.Seeding 193nmスペクトル(Ti : Sa Laser)
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図9.193nm(Ti : Laser 4倍波)パルス波形
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図10.Broad band 193nmと狭帯化193nmのベクトル比較
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図11.Seeding後の193nm狭帯化の結果
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図12.狭帯化193nmスペクトル(ArF Excimer Laser)
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図13.Delay time に対するseed光のロッキング効率
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表3.ArF Excimer Laser の狭帯化による193nmとSeedingによる狭帯化193nm比較
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表4.今後の課題