光技術情報誌「ライトエッジ」No.16
第59回 応用物理学会／学術講演会 1998年（平成10年）秋季
17a-P2-1
(1999年3月)
Ti:Al2O3レーザー（773.6nm）の
4倍波シーディングによる
ArFレーザースペクトルの狭帯域化
Spectral narrowing of ArF laser by seeding 4th
harmonic of Ti: Al2O3 laser
ウシオ総研つくば研究所：○出来恭一、斎藤隆志、佐久間純、南斎信乃夫、渡辺英典
URIT Tsukuba : K.Deki, T.Saito, J.Sakuma, S.Nanzai, H.Watanabe
Ti : Al2O3レーザー（773.6nm）の4倍波シーディングによるArFレーザーのスペクトルの狭帯域化を行い，ArFレーザースペクトル幅（FWHM）0.98pm，seedig効率82%（28mJ）を得た．seedingエネルギー47µJでのdelay timeと効率との関係を図2に示す．尚，用いたTi : Al2O3レーザー（773.6nm）は，パルス幅3nsecの532nm光で励起されたプリズム同調型Solar社のLX325CARATで，この共振器内に0.7，2.5mm計3枚の石英板をエタロン板として挿入し，狭帯域化を図った．このレーザーのパルス幅は24nsec, build uptime：355nsec, jitter：±10nsecであった．4倍発生には，Type2CLBO（386.8nm）, Type1CLBO（258nm）, Type1 BBO（193.4nm）を用いた．
参考資料
表１．背景
表2．目的
図3．Seeding実験装置配置図
図4．ArF Excimer Laser不安定共振器配置図
図5．ArF Excimer Laserの安定共振器と不安定共振器のレーザー出力比較［1Hz］
図6．ArF Excimer Laser193nm出力(不安定共振器使用時例)
図7．安定共振器(OC30%Rflat)使用時の193nmパルス波形
図8．Seeding 193nmスペクトル(Ti : Sa Laser)
図9．193nm(Ti : Laser 4倍波)パルス波形
図10．Broad band 193nmと狭帯化193nmのベクトル比較
図11．Seeding後の193nm狭帯化の結果
図12．狭帯化193nmスペクトル(ArF Excimer Laser)
図13．Delay time に対するseed光のロッキング効率
表3．ArF Excimer Laser の狭帯化による193nmとSeedingによる狭帯化193nm比較
表4．今後の課題
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（1999年03月）