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2006秋季第67回応用物理学会学術講演会
SiNを用いたAlInGaN系紫外LED高出力化の検討Investigation of high power AlInGaN-based ultraviolet LEDs fabrication using SiN 2007
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2010.1 Applied Physics Letter
Stress-Enhancement in free-standing Si pillars throughnonequilibrium dehydrogenation in SiN:H
stress-liners by ultraviolet light irradiation 2010