1996年発刊インデックス

大学研究室を訪ねて Campus Lab①

学生主役のハイテク探究
東海大学工学部電気工学科　村原研究室

はじめに

1 光放射加熱総論¹⁾

2 ランプの構造・特徴

3 応用例

あとがき

第23巻 第6号 レーザー研究

レーザオリジナル
ガスジェット放電励起真空紫外
キセノンエキシマ光源

第23巻 第12号 レーザー研究

レーザ解説
誘電体バリア放電エキシマランプの
原理と応用

第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集

28p-ZV-3
エキシマランプによるSiウエハのUV／オゾン洗浄
UV/Ozone cleaning of Si surface by excimer lamp

第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集

28a-SC-2
エキシマランプによるポリアセタールの表面改質
Surface Modification of Polyoxymethylene with Excimer Lamp

第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集

28a-ZT-6
誘電体バリア放電ランプによるポリイミドの表面改質
Surface Modification of Polyimide by VUV lamp

第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集

28a-ZT-7
誘電体バリア放電Xe₂*エキシマランプによるUV/O₃洗浄の要因検討
The Conceivable Factors for UV/O₃ Cleaning by Xe₂ Excimer Lamp

第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集

28p-PC-15
172nm誘電体バリア放電ランプによるSiO₂膜の室温形成(III)
Fabrication of SiO₂ Film at Room Temperature by 172nm VUV Lamp(III)

第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集

27p-E-12
パルス無声放電励起希ガスエキシマフラッシュランプの開発（II）
Vacuum ultraviolet rare-gas flash lamps excited by a pulsed silent discharge（II）

第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集

27p-E-13
高効率ジェット放電励起キセノンエキシマ光源の開発(III)
Development of a high efficiency jet Xe excimer lamp excited by quasi-DC discharge

第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集

26a-SQ-29
誘電体バリア放電エキシマランプによるポリマーのフォトエッチング
Dry-Etching of polymers using a Dielectric-Barrier Discharge Driven Excimer Lamp

第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集

26a-SQ-30
誘電体バリア放電エキシマランプを用いた光CVDによる石英薄膜の作製
Direct Photo-Deposition of Silicon Dioxide Films using a Dielectric-Barrier Discharge Driven Excimer Lamp

社内講演会

真空紫外と新材料について

1996（平成8年）春季 第43回 応用物理学会 関係連合講演会 講演予稿集No.2

27p-ZV-6
エキシマランプを用いた有機光学材料のフォトエッチング
Photo-Etching of Organic Optical Materials using an Excimer Lamp

1996（平成8年）春季 第43回 応用物理学会 関係連合講演会 講演予稿集No.2

29p-N-2
172nm誘電体バリア放電ランプによるSiO₂膜の室温形成(IV)
Fabrication of SiO₂ Films at Room Temperature by 172nm VUV Lamp (IV)

1996（平成8年）度 第29回 照明学会全国大会 講演論文集

希ガス－塩素系誘電体バリア放電
エキシマランプにおけるE/pと放射効率
The Relationship between Radiant Efficiency and E/p
in dielectric barrier-discharge-driven Rare gas-Halogen Excimer Lamps

1996（平成8年）度 第29回 照明学会全国大会 講演論文集

No.44 誘電体バリア放電を利用した
ヘッドオン型Ar₂*、Kr₂*エキシマランプの特性
Characteristics of head-on Ar2*, Kr2* excimer lamps with dielectric barrier discharges

1996（平成8年）度 第29回 照明学会全国大会 講演論文集

No.45 希ガスエキシマ光の発光特性
Emission characteristics of rare-gas excimers

1996（平成8年）度 第29回 照明学会全国大会 講演論文集

No.46 液晶プロジェクター用極短アーク直流点灯
メタルハライドランプの特性
Characteristics of a very short arc-dc operated MH lamp for LCD projector

1996（平成8年）度 第5回 日本オゾン協会年次研究講演会 講演予稿集

新しい紫外光源「エキシマランプ」に関する研究
Studies on an excimer lamp as a new UV source.

平成8年電気学会全国大会 講演論文集

平成8年電気学会全国大会
127 沿面放電型エキシマランプの基礎研究 (4)
Fundamental studies on an excimer lamp with a surface discharge (4)

Journal of Non-Crystalline Solids 179 (1994)260-275

Vacuum ultraviolet-induced strain in vitreous silica used
for xenon lamp bulbs

シリカガラス製Xeランプバルブに発生する真空紫外光誘起歪み

レーザーセミナー ’96 テキスト

【第４講】
新しいUVおよびVUVエキシマ光源の開発

化学光学会「姫路大会講演要主旨集」

SD2-14 ポリエチレンの172nm光照射による光反応

化学光学会「姫路大会講演要主旨集」

SD2-15 誘電体バリア放電エキシマランプを用いた光洗浄

光技術コンタクト　Vol.34　No.1

特集：表示素子の色再現及び材料技術
直視型，投射型LCD用光源と色再現

写真工業　Vol.50　No.7

ホログラムの世界と光源

写真工業　Vol.50　No.7

私はホログラフィが好きです
レーザー再生ホログラムのための
高圧水銀ランプを用いたホログラム照明装置

ウシオ技術研究所分析技術について

月刊クリーンテクノロジー

製品紹介
真空装置用パーティクルモニター

月刊クリーンテクノロジー

特 集
（半導体製造装置におけるパーティクル対策）
エッチング装置のパーティクル対策

月刊ポリファイル　Vol.3, No.385

有機非線形光学材料の新展開
波長のマニピュレーション エキシマ光によるプラスチック表面への
官能基置換と非線形性発現の可能性

宮崎大学工学部研究報告　第41号

無声放電励起真空紫外希ガスエキシマランプの開発
Vacuum Ultraviolet Rare Gas Excimer Lamps Excited by Silent Discharges

月刊Semiconductor World

Technical Report
エキシマランプによる化合物半導体の
低損傷・高選択比光エッチング

光学　第25巻　第6号

解説 最近のプロジェクターの光学システム プロジェクター用光源
Light sources for projectors

電子材料

■液晶ディスプレイ用部品・材料編■ バックライト

Ultra-Sensitive Absorption Spectroscopy on
lons using UV/VUV Synchrotron Radiation

大学研究室を訪ねて Campus Lab②

新結晶の発明がレーザの流れを変える

大学研究室を訪ねて Campus Lab③

夢の金属探究は、知と力と勇気を持って

留学レポート１

Münchenに学んで

留学レポート 2

ミネソタ大学事情

留学レポート3

エントロピーの拡大を誓ったヴァンダービルト大学の留学

留学制度の紹介