ライトエッジ No.1

ライトエッジ No.1

ウシオが世界で初めて製品化に成功した「誘電体バリア放電エキシマランプ」の特性をはじめ、その用途として表面改質や洗浄、親水性などをご紹介しています。

(1995年02月)

照明学会研究会資料 無電極放電ランプの現状とその動向

誘電体バリア放電を利用した
エキシマランプの特性

電気関係学会関西支部連合大会講演論文集

誘電体バリア放電を利用したエキシマランプの特性

照明学会全国大会講演予稿集

29. エキシマ光照射装置
Excimer Photon Source

日本化学会 第68秋季年会(含連合討論会)/化学関係学協会連合協議会研究発表会
/中部化学関係学協会支部連合協議会秋季大会 合同大会 講演予稿集

2 C2 25
高分子樹脂と真空紫外光(172nm)の光反応
Photocemical reaction of synthetic resins with Vacuum Ultra Violet(172nm)

「光技術コンタクト」Vol.32,(1994年)NO.2 別刷

特 集 「新光源技術」
誘電体バリア放電を利用したエキシマランプ

照明学会研究会資料 LS-95-1~6, P.1~10

半導体製造用エキシマUV/O3洗浄装置