27a－HE－4
172nm誘電体バリア放電ランプによる
ポリイミドの表面改質
Surface Modification of Polyimide by 172nm VUV lamp

東海大（工）、ウシオ電機（株）^＊　青池政憲、大越昌幸、北村一典、松野博光^＊、五十嵐龍志^＊、村原正隆
Tokai Univ,USHIO INC^＊ M.Aoike,M.Okoshi,K.Kitamura,H.Matsuno^＊,T.Igarashi^＊ ,and M.Murahara

はじめに

ポリイミドは、耐熱性材料であり、耐放射線性にも優れている。このため、電子産業は勿論のこと、宇宙や航空機などの分野で広く使用されている。とくに、この材料は耐コロナ放電性であり、プラズマによって改質することは難しい。一方レーザーによる改質も難しく、強いエネルギー密度のエキシマレーザー光を照射して、アブレーションにより穴明けを行う報告がほとんどである。そこで我々は光化学的手法による加工を目的として、真空紫外ランプ（172nm）光と水を用いて、ポリイミド表面を親水性に改質したので報告する。