光技術情報誌「ライトエッジ」No.1(1995年冬発行)
第54回応用物理学会学術講演会講演予稿集No.1
(1993年秋季)
27a-HE-4
172nm誘電体バリア放電ランプによる
ポリイミドの表面改質
Surface Modification of Polyimide by 172nm VUV lamp
東海大(工)、ウシオ電機(株)* 青池政憲、大越昌幸、北村一典、松野博光*、五十嵐龍志*、村原正隆
Tokai Univ,USHIO INC* M.Aoike,M.Okoshi,K.Kitamura,H.Matsuno*,T.Igarashi* ,and M.Murahara
はじめに
ポリイミドは、耐熱性材料であり、耐放射線性にも優れている。このため、電子産業は勿論のこと、宇宙や航空機などの分野で広く使用されている。とくに、この材料は耐コロナ放電性であり、プラズマによって改質することは難しい。一方レーザーによる改質も難しく、強いエネルギー密度のエキシマレーザー光を照射して、アブレーションにより穴明けを行う報告がほとんどである。そこで我々は光化学的手法による加工を目的として、真空紫外ランプ(172nm)光と水を用いて、ポリイミド表面を親水性に改質したので報告する。
実験方法および結果
水を介して、ポリイミドフィルムに真空紫外ランプを0~3分間照射した。これによって、改質された試料の親水性を、水との接触角の測定から評価した。その接触角のランプ照射時間依存性をFig.1に示す。この図から、ランプ光を3分間照射することによって、接触角はほぼ0度となることがわかった。

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掲載誌:ライトエッジ No.1