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特集 第7回光源の科学と技術に関する国際会議
高温におけるWワイヤーの引っぱり強度TENSILE STRENGTH OF W-WIRE AT HIGH TEMPERATURES 1995
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2001 International Conference on Solid State Devices and Matelials,
Extended Abstracts of the 2001 International Conference on Solid State Devices and Materials,Tokyo,2001,pp.182-183
Flash Lamp Anneal Technology for Effectively Activating Ion Implanted Si 2002
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2001 International Conference on Solid State Devices and Matelials,
Extended Abstracts of the 2001 International Conference on Solid State Devices and Materials,Tokyo,2001,pp.520-521
Novel PZT Crystallization Technique by Using Flash Lamp for FeRAM Embedded
LSIs and 1Tr FeRAM Devices 2002
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2006秋季 第67回応用物理学会学術講演会
瞬間熱処理法によるボトムゲート型TFT用Si薄膜の結晶化
Crystallization of Si thin films for bottom-gate-TFT by Rapid Thermal Annealing 2007
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2007春季 第54回応用物理学会学術講演会
フラッシュランプアニールにより形成した高品質多結晶シリコン薄膜
High-quality poly-Si films formed by flash lamp annealing 2007
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2007春季 第54回応用物理学会学術講演会
フラッシュランプアニールによるアモルファスシリコン薄膜の面内均一結晶化
Uniform crystallization of a-Si films by flash lamp annealing 2007
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2007春季 第54回応用物理学会学術講演会
フラッシュランプアニールにより形成した多結晶シリコン薄膜の結晶性の調査
Investigation of crystallinity of depth of poly-Si thin films formed by Flash lamp annealing 2007
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2007春季 第54回応用物理学会学術講演会
フラッシュランプアニールにより形成された多結晶Si薄膜への高圧水蒸気熱処理
High pressure water vapor annealing of poly-Si thin film formed by flash lamp annealing 2007
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2006.9 21st European Photovoltaic Solar Energy Conference
A NEW TYPE POLY-Si PREPARED BY FAST LAMP ANNEALINGOF Cat-CVD a-Si AND ITS DEFECT PASSIVATION
BY HIGH PRESSURE WATER VAPOR ANNEALING 2007
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2006.10 4th International Conference on Hot-Wire CVD(Cat-CVD)Process
Poly-Si Films with Long Carrier Lifetime Prepared by RapidThermal Annealing of Cat-CVD Amorphous Silicon Thin Films 2007
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ヨーロッパ太陽電池国際会議
FORMATION OF POLYCRYSTALLINE Si FILMS OVER 3 µmIN THICKNESS ON QUARTZ SUBSTRATES
BY FLASH LAMP ANNEALING 2008