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「ウシオの新しい取り組み-新市場・新分野を創出する光の先端技術/第一回」
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2011.3 SPIE Advanced Lithography 2011
Tin LDP Source Collector Module (SoCoMo)ready for integration into Beta scanner
2011.3 SPIE Advanced Lithography 2011
Sn film and ignition control for performance enhancementof laser-triggered DPP source *
電子情報通信学会 レーザー・量子エレクトロニクス研究会信学技報 2010年11月 copyright (c) 2011 IEICE
電子線励起したAlGaN/AlN 量子井戸からの100mW深紫外発光2011.3 Proceedings of SPIE (SPIE Advanced Lithography 2011)
Regeneration of imprint molds usingvacuum ultraviolet light
2010.9 Reprinted by permission from Nature Photonics Vol.4, pp.767-770, November 2010 Copyright: Macmillan Publishers Limited
100 mW deep-ultraviolet emission fromaluminium-nitride-based quantum wells pumped
by an electron beam