ライトエッジ No.26
2002年末に発表し、大きな反響を呼んだ半導体先端パッケージ用ステッパ「UX-7」など露光装置関連に加え、医療分野の投稿、学会発表などをご紹介します。
(2003年08月)
Electronic journal 第52回Technical Symposium
★マイクロマシン/MEMS徹底解剖Part.2-その設計・製造技術と装置-
露光装置
2002年末に発表し、大きな反響を呼んだ半導体先端パッケージ用ステッパ「UX-7」など露光装置関連に加え、医療分野の投稿、学会発表などをご紹介します。
(2003年08月)
Electronic journal 第52回Technical Symposium
★マイクロマシン/MEMS徹底解剖Part.2-その設計・製造技術と装置-