投影露光装置「UX-4シリーズ」

露光
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半導体
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ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用いたプロジェクションアライナーです。8インチまでのウェハをマスクと非接触で一括露光することが可能です。広い焦点深度を用いた平らでないウェハに対する露光を可能にし、プロキシミティアライナーには無い高生産性、高歩留りを達成します。

【要素技術】

・世界シェアNo.1の超高圧ＵＶランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系
・他に類を見ない大面積投影レンズ

マスクダメージフリー

高生産性

3次元露光

厚膜レジスト対応

プロキシミティアライナーのマスク転用可能

MEMS
水晶振動子
SAWフィルタ
ＲＦデバイス
センサー
インジェットヘッド
ダイオード
IGBT
パワー半導体
サイリスタ
MOS-FET
LED
パワーアンプ
MMIC
BAWフィルタ
加速度センサ
インダクター
受動部品
太陽電池
など

UX-4シリーズラインナップ

型式	UX-4486SC	UX-44101SC	UX-4423SC	UX-4459SC	UX-4440SC	UX-4438SC	UX-4458SC	UX-4477SC
マスクサイズ	□5inch		□7inch、□5inch			□9inch、□7inch
ウェーハサイズ	φ4inch		φ6inch、φ4inch			φ8inch、φ6inch
解像力	7μm L/S	2μm L/S	9μm L/S	6μm L/S	5μm L/S	12μm L/S	6μm L/S	4μm L/S
総合重ね合わせ精度	±1.0μm L/S	±1.0μm L/S	±1.0μm L/S	±1.0μm L/S	±2.0μm L/S	±1.0mu;m L/S	±1.0μm L/S	±1.0μm L/S
露光波長	ihg 線	i線	ihg 線	i線	i線	ihg 線	i線	i線
スループット	120WPH
オプション	裏面アライメント、IRアライメント、マスクライブラリー、特殊ウェーハ対応

【輸出に関するご注意】

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