SEMICON Japan2021 検査加熱・乾燥硬化・接着可視化測定改質露光洗浄 MEMS・電子部品医療・美容・創薬半導体環境・衛生エネルギー光学自動車・船舶プリント基板・PKG機能材料農漁業・食品バイオ・化学印刷液晶・ディスプレイ 2019/12/11~2019/12/13 関連製品 エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット オールインワン オンサイト卓上検査装置 各種製造プロセス向けUV-LED照射装置 大気圧プラズマ照射装置 分割投影露光装置「UX-5シリーズ」 投影露光装置「UX-4シリーズ」 紫外線ホトレジスト硬化装置「ユニハード」 ハロゲンランプヒータ