プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」
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ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。
| 型式 | UX-3300SC | ||
|---|---|---|---|
| コンタクト方式 | バキュームコンタクト | ハードコンタクト | プロキシミティ |
| 解像力 | 1μm L/S | 2μm L/S | 3μm L/S |
| 露光方式 | 片面露光 | ||
| ウェハサイズ | ～φ200m | ||
| 露光波長 | i、ih、ihg 線 | ||
| 重ね合わせ精度 | ±1μm（表面） ±1.5μm（裏面） | ||
■ウェーハの反りにも対応
■低コントラストアライメントマーク
■MEMS向けの豊富なオプション
| 高焦点深度 | 3次元（段差、球面）露光可能（UX-4 MEMS） |
|---|---|
| 両面同時露光 | 高精度表裏位置合わせ |
| 高精度アライメント | ウェーハのノッチ、オリフラのアライメント機能 |
| 複数のハンドリングオプション | 非接触、貫通、反りウェーハや異種材料にも対応 |
型式一覧
