プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」

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ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。


【要素技術】

・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載

・高い均一度を誇る独自の照射光学系

高解像力
最高解像度ラインアンドスペース=1um(真空ハードコンタクト)を達成。プロキシミティー露光においても20umGap時ラインアンドスペース3umの高解像力を実現しました。また、高いステージ平坦性・Gap安定性で線幅安定性に優れます。
材料に応じ、各露光モードにおいて最適な解像度を実現するよう光学系をご提案します。
高精度な重ね合せを実現
重ね合せ精度:表面アライメント時±1um、裏面アライメント時、±1.5umを実現。各種基板やアライメントマークに対し、最適なアライメント照明、画像処理ソフト技術で高精度な重ね合せ精度を実現します。
MEMS
水晶振動子
SAWフィルタ
RFデバイス
センサー
インジェットヘッド
ダイオード
IGBT
パワー半導体
サイリスタ
MOS-FET
LED
パワーアンプ
MMIC
BAWフィルタ
加速度センサ
インダクター
受動部品
太陽電池
など

型式 UX-3300SC
コンタクト方式 バキュームコンタクト ハードコンタクト プロキシミティ 
解像力 1μm L/S 2μm L/S 3μm L/S
露光方式 片面露光
ウェハサイズ ~φ200m
露光波長 i、ih、ihg 線
重ね合わせ精度 ±1μm(表面) ±1.5μm(裏面)

ウェーハの反りにも対応

低コントラストアライメントマーク

MEMS向けの豊富なオプション
高焦点深度 3次元(段差、球面)露光可能(UX-4 MEMS)
両面同時露光 高精度表裏位置合わせ
高精度アライメント ウェーハのノッチ、オリフラのアライメント機能
複数のハンドリングオプション 非接触、貫通、反りウェーハや異種材料にも対応

【輸出に関するご注意】

本製品(又は技術)は、外国為替及び外国貿易法に基づくリスト規制の該当貨物(又は技術)になる場合がありますので、輸出(又は非居住者への技術の提供あるいは 外国において技術の提供をする目的での取引)を行なう場合には、経済産業大臣の 輸出許可(又は役務取引許可)が必要となる場合があります。必ず事前に弊社へご確認下さい。

型式一覧

搭載光源