プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」
![プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」](./product_file/file/1024_ux3_01.jpg)
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本製品は生産終了となりました。 ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。
プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」生産終了のご案内(396KB)
代替品はこちら→オート機
型式一覧
![](./product_file/file/uxseries_lineup_ux1-3.jpg)
本製品は生産終了となりました。 ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。
プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」生産終了のご案内(396KB)
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