プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」

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本製品は生産終了となりました。

プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」生産終了のご案内(396KB）

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ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。

【要素技術】

・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系

高解像力

最高解像度ラインアンドスペース＝1um(真空ハードコンタクト）を達成。プロキシミティー露光においても20umGap時ラインアンドスペース3umの高解像力を実現しました。また、高いステージ平坦性・Gap安定性で線幅安定性に優れます。
材料に応じ、各露光モードにおいて最適な解像度を実現するよう光学系をご提案します。

高精度な重ね合せを実現

重ね合せ精度：表面アライメント時±1um、裏面アライメント時、±1.5umを実現。各種基板やアライメントマークに対し、最適なアライメント照明、画像処理ソフト技術で高精度な重ね合せ精度を実現します。

MEMS
水晶振動子
SAWフィルタ
ＲＦデバイス
センサー
インジェットヘッド
ダイオード
IGBT
パワー半導体
サイリスタ
MOS-FET
LED
パワーアンプ
MMIC
BAWフィルタ
加速度センサ
インダクター
受動部品
太陽電池
など

型式	UX-3300SC
コンタクト方式	バキュームコンタクト	ハードコンタクト	プロキシミティ
解像力	1μm L/S	2μm L/S	3μm L/S
露光方式	片面露光
ウェハサイズ	～φ200m
露光波長	i、ih、ihg 線
重ね合わせ精度	±1μm（表面） ±1.5μm（裏面）

■ウェーハの反りにも対応

■低コントラストアライメントマーク

■MEMS向けの豊富なオプション

高焦点深度	3次元（段差、球面）露光可能（UX-4 MEMS）
両面同時露光	高精度表裏位置合わせ
高精度アライメント	ウェーハのノッチ、オリフラのアライメント機能
複数のハンドリングオプション	非接触、貫通、反りウェーハや異種材料にも対応

【輸出に関するご注意】

本製品(又は技術)は、外国為替及び外国貿易法に基づくリスト規制の該当貨物(又は技術)になる場合がありますので、輸出(又は非居住者への技術の提供あるいは外国において技術の提供をする目的での取引)を行なう場合には、経済産業大臣の輸出許可(又は役務取引許可)が必要となる場合があります。必ず事前に弊社へご確認下さい。