超高圧UVランプ(500W~35kW)

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装置メーカーとの共同開発体制を背景に、デバイスメーカーのさまざまな要望に応える開発を進め、高い評価と信頼を得ているリソグラフィ用UVランプです。
500w~35kwクラスまでの幅広いラインナップで、生産性向上・歩留まり改善などに最適な光をご提案します。また、お客さまの新規装置開発にあわせたランプ開発も承ります。

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フォトリソグラフィ光源に最適な紫外線波長
ウシオの超高圧UVランプは、紫外線波長の中でも、特に3線(436nm・405nm・365nm)を有効に活用できるように開発されており、長寿命で安定した放射照度を持つ高輝度光源です。
光学系の性能を最大限に引き出す点光源
アークサイズが極めて点光源に近いため、拡散が容易であり、均一で平行な光が得られます。
半導体、液晶・カラーフィルター・OLED・タッチパネル、プリント基板用回路焼き付けなど、用途に応じた幅広いランプ出力
パターン焼き付け(リソグラフィー)のニーズに対して、小型(500wクラス)~超大型(35kwクラス)まで、幅広いサイズのランプで対応します。
既存装置の性能を最大限に引き出す高照度
既存装置のスループット向上のニーズに対して、高照度ランプを使用するだけで、確実に生産性の向上が期待できます。
※一部の装置メーカー製品では装置の改造が必要となる場合があります。
求められる波長に対応したランプ開発
お客さまの新規装置の開発にあわせて、ベストフィットなランプを開発します。詳細はお問い合わせください。
紫外線寿命特性
分光分布
半導体回路形成用光源
液晶パターン形成用光源
カラーフィルターパターン形成用光源
OLEDパターン形成用光源
タッチパネルパターン形成用光源
プリント基板回路形成用光源
MEMSパターン形成用光源
その他新規露光用途
など

型式 定格
ランプ
入力
(W)
ランプ
電流
(A)
ランプ
電圧
(V)
水平放射照度(μW/cm2)
ランプからの距離1m
全光束
(lm)
平均
寿命
(h)
許容
使用
角度
(垂直)
冷極間
(mm)
寸法 製品仕様
360~
370nm
400~
410nm
430~
440nm
L1
(mm)
L2
(mm)
L3
(mm)
φD1
(mm)
φD2
(mm)
D3
(ネジ規格)
D4
(ネジ規格)
USH-1005D 1,000 28 36±4 341 175 268 45,000 600 ±15° 3.0 240
MAX
206 91 40 15 M6×1.0 M6×1.0 -
USH-2004MB 2,000 54 37 648 320 440 90,000 500 ±15° 3.0 332
MAX
270 140 62 六角
口金
φ27
M8×1.25
M8×1.25 -
USH-3502MA 3,500 56 62 1,070 590 880 158,000 700 ±15° 6.6 336
MAX
290 145 70 六角
口金
M8×1.25 M8×1.25 -
「この3機種は標準品です」「ご要望に合わせたランプ設計も承ります」

「水銀に関する水俣条約」及び「水銀による環境の汚染の防止に関する法律」で規制される製品はありますか

当社が製造・販売するプロジェクタ-用ランプ、各種製造工程用ランプ、検査用ランプ等は、「水銀に関する水俣条約」及び「水銀による環境の汚染の防止に関する法律」が規制する「特定水銀使用製品」には該当しないため、
2021年以降も製造・販売が可能です。従いまして、当社が製造・販売するランプの供給に影響はございません。

1.なぜ、水銀を使用しているのですか。

フォトリソグラフィー工程において利用されるg線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)の波長の光を効果的に出せる物質が水銀しかないためです。

2.ランプに使用されている水銀は人体に有害ですか。

ランプに使用されている水銀は無機水銀です。 一般的に無機水銀は、人体に取り込まれにくいと言われています。ただし、水銀蒸気は有害なため、点灯中にランプが破損・破裂した場合に発生する水銀蒸気を吸った場合は直ぐに医者の診察を受け、指示に従ってください。

3.このランプは水銀規制の対象になりますか

水銀に関する水俣条約(2017年8月発効)及びRoHS指令の対象になるランプは一般照明用途のランプであり、各種製造工程用のランプは対象外となっています。このランプは各種製造工程用のランプであるため現在の規制の対象になりません。

4.ランプは一般の廃棄物として廃棄できますか。

ランプは水銀を含有しているため一般の廃棄物として廃棄ができません。水銀が適切に処理できる専門の産業廃棄物処理業者に廃棄を依頼してください。

5.ランプに封入されているガスは安全ですか。

キセノンなどの貴ガスと呼ばれる大気中に含まれているガスを使用しているため安全です。

6.バルブ部に沿って取り付けてある金属線は何の役目をしていますか。

この金属線はランプの点灯性を良くする役目があります。
この金属線が切れたり、外れたりした場合は弊社に問合せ(修理依頼)をしてください。

7.なぜ、バルブに突起物が付いているのですか。

バルブの突起物はチップと呼んでいます。ランプの製造工程で水銀及びガスをバルブ内に封入する際にバルブに取り付けた管を使用します。封入後にその管をカットしますが、その管の一部が突起状に残ったものです。

8.バルブ部の金色のペイントの役割は何ですか。

金色のペイントは保温膜と呼んでいます。点灯中、適正なバルブ温度を維持することができ、安定したランプ性能を得ることができます。

9.ランプのバルブや電極に水銀が付着していても、性能に問題はありませんか。

ランプを点灯しますと、バルブや電極に付着している水銀は全て気体に変わりますので、性能には全く問題ありません。

10.ランプを素手で触ったり、汚れが付いた場合、どうすればいいのですか。

柔らかい布にアルコール(IPA)を付けて、丁寧にふき取ってください。

11.取り扱いでランプに衝撃を与えてしまった時の対処はどうすればいいですか。

ランプに衝撃を与えた場合、外観確認では確認できない小さなクラックが入っている可能性がありますので使用しないでください。ランプの破裂・破損の危険性があります。

12.ランプを運搬する場合、どのように持てばよいですか。

ランプの口金を両手でしっかり持って、陽極(バルブ内の大きな電極)が下になるように縦持ちをして、運んでください。詳しくは、ランプの取扱説明書をご参照ください。

13.ランプは点灯中どのような状態ですか。

水銀が気体になり、強い光を発し、バルブの温度は約750℃に上昇します。また、バルブ内部の圧力が20気圧以上の高い圧力となっています。

14.ランプの点灯検査と外観検査は全数実施していますか。

ランプの点灯検査と外観検査は全数実施しています。

15.保証時間を超えて使用を継続した場合、何が懸念されますか。

ランプの不点灯、照度の低下、破裂などが発生する危険性が高くなります。

16.ランプは、なぜ、破裂するのですか。

ランプのバルブは石英ガラスを使用していますが、バルブに傷が入ると、バルブの高い内部圧力により、傷の箇所に応力が集中して破裂します。また、ランプを保証時間を超えて長時間使用しますと、熱歪がバルブに蓄積され、バルブの高い内部圧力に耐えられなくなり、破裂します。

17.ランプは、点滅回数に制限があるのですか。

保証時間内に規定している点滅回数を超えますとランプが点灯できなくなる場合がありますので、ランプ毎に点滅の回数を規定しております。点滅回数は、仕様書にて確認し、点滅回数を守ってご使用ください。点滅回数が不明な場合は、担当営業にお問い合せください。

18.ランプの保証期間を教えてください。

ランプの生産月から5年間となっています。生産月が不明な場合は、仕様書にて確認いただくか、担当営業にお問い合せ下さい。

19.防湿袋(個装ケースを覆った透明フィルム)の役割は何ですか。

ランプは外気の湿気に長期間触れていると口金などが酸化する可能性があります。防湿袋は外気の湿気を遮断することにより、酸化を防止する役目があります。防湿袋を破ってしまった場合、ランプは高温高湿を避けて保管してください。

20.入荷した際の箱を破棄した場合、ランプを輸送する際の梱包はどうすればいいか。

ランプを輸送する際は、納入時と同じ専用個装ケースに同様の方法で梱包することをお願いしております。弊社指定の梱包箱以外の箱で輸送をした場合、ランプが破損する可能性があります。梱包箱については弊社営業担当にご相談ください。
なお、ランプを梱包する場合は縦向きにし、収納時のランプ方向(+極を下側)を守ってください。

超高圧UVランプ(500W~35kW) 取扱動画

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超高圧UVランプ(500W~35kW) 取扱説明書

ファイル名 ファイル形式/容量 日時 ダウンロード
日本語版 PDF(6813KB) 2016-03-14 18:00:00
English PDF(4446KB) 2016-04-19 14:28:00
Korean PDF(3455KB) 2016-04-19 14:28:00
Simplified Chinese PDF(4313KB) 2016-04-19 14:27:00
Traditional Chinese PDF(6140KB) 2016-04-19 14:27:00

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