マスクアライナー「UX-1シリーズ」

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ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。


【要素技術】

・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載

・高い均一度を誇る独自の照射光学系

高解像力
最高解像度ラインアンドスペース=1um(真空ハードコンタクト)を達成。プロキシミティー露光においても20umGap時ラインアンドスペース3umの高解像力を実現しました。また、高いステージ平坦性・Gap安定性で線幅安定性に優れます。 材料に応じ、各露光モードにおいて最適な解像度を実現するよう光学系をご提案します。
高精度な重ね合せを実現
重ね合せ精度:表面アライメント時±1um、裏面アライメント時、±1.5umを実現。各種基板やアライメントマークに対し、最適なアライメント照明、画像処理ソフト技術で高精度な重ね合せ精度を実現します。
LCD用感光材料評価装置
LCDカラーフィルタ露光光源として、ウシオの光源技術は高いシェアで採用をされています。この技術を使い。LCD用感光材料の出荷検査用として活用可能な簡易露光装置をご提案可能です。
MEMS
水晶振動子
SAWフィルタ
RFデバイス
センサー
インジェットヘッド
ダイオード
IGBT
パワー半導体
サイリスタ
MOS-FET
LED
パワーアンプ
MMIC
BAWフィルタ
加速度センサ
インダクター
受動部品
太陽電池
研究開発
材料評価
レジスト評価
など

【輸出に関するご注意】

本製品(又は技術)は、外国為替及び外国貿易法に基づくリスト規制の該当貨物(又は技術)になる場合がありますので、輸出(又は非居住者への技術の提供あるいは 外国において技術の提供をする目的での取引)を行なう場合には、経済産業大臣の 輸出許可(又は役務取引許可)が必要となる場合があります。必ず事前に弊社へご確認下さい。

型式一覧

搭載光源