SEMICON Japan 2018 加熱・乾燥硬化・接着測定洗浄改質露光 半導体プリント基板・PKGMEMS・電子部品 2018/12/12～2018/12/14 関連製品 エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット 分割投影露光装置「UX-5シリーズ」 投影露光装置「UX-4シリーズ」 紫外線ホトレジスト硬化装置「ユニハード」 多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」 ハロゲンランプヒータ 瞬間加熱・高温焼成 フラッシュランプアニール 分光放射照度計「USR-45シリーズ」
