ライトエッジ No.29

2007電子回路基板技術大全（電子ジャーナル）

FPC用露光装置
UX-3100SR／UFX-2458B

電子材料（工業調査会）

フォトレジスト塗布・露光・
現像プロセスについて

2006秋季　第67回応用物理学会学術講演会

瞬間熱処理法による
ボトムゲート型TFT用Si薄膜の結晶化
Crystallization of Si thin films for bottom-gate-TFT by Rapid Thermal Annealing

2007春季　第54回応用物理学会学術講演会

フラッシュランプアニールにより形成した
高品質多結晶シリコン薄膜
High-quality poly-Si films formed by flash lamp annealing

2007春季　第54回応用物理学会学術講演会

フラッシュランプアニールによる
アモルファスシリコン薄膜の面内均一結晶化
Uniform crystallization of a-Si films by flash lamp annealing

2007春季　第54回応用物理学会学術講演会

フラッシュランプアニールにより形成した
多結晶シリコン薄膜の結晶性の調査
Investigation of crystallinity of depth of poly-Si thin films formed by Flash lamp annealing

2007春季　第54回応用物理学会学術講演会

フラッシュランプアニールにより形成された
多結晶Si薄膜への高圧水蒸気熱処理
High pressure water vapor annealing of poly-Si thin film formed by flash lamp annealing

2006.9 21st European Photovoltaic Solar Energy Conference

A NEW TYPE POLY-Si PREPARED BY FAST LAMP ANNEALING
OF Cat-CVD a-Si AND ITS DEFECT PASSIVATION
BY HIGH PRESSURE WATER VAPOR ANNEALING

2006.10 4th International Conference on Hot-Wire CVD(Cat-CVD)Process

Poly-Si Films with Long Carrier Lifetime Prepared by Rapid
Thermal Annealing of Cat-CVD Amorphous Silicon Thin Films

2006.10 第21回光源物性とその応用研究会

アンテナ効果を用いたマイクロ波励起
小型超高圧水銀ランプの発光特性
Emission properties of compact super-high-pressure mercury discharge lamps using effects of antenna-excited microwave

2006.10 第21回光源物性とその応用研究会

アンテナ励起型小型マイクロ波放電ランプの
電磁界分布とランプインピーダンス
Lamp impedance and electromagnetic field distribution in compact antenna excited microwave discharge lamps

2006.7 ナノオプティクス研究グループ第15回研究討論会

干渉による露光ムラを低減する
近接場光リソグラフィ用フォトマスク
Photomask for near-field photolithography decreasing exposure irregularity due to interference

2006秋季第67回応用物理学会学術講演会

SiNを用いたAlInGaN系紫外LED高出力化の検討
Investigation of high power AlInGaN-based ultraviolet LEDs fabrication using SiN

2006.6 日本美容皮膚科学界誌

500nm以上の可視光線を用いた尋常性ざ瘡の光線治療
Acne phototherapy with polychromatic visible light with wavelengths over 500 nm

2006.11 MHS2006&Micro-Nano COE

Surface modification of DMFC using ultra-low energy electron
beam irradiation system with silicon base membrane

電子ジャーナルセミナー「プリント配線板パターン形成技術徹底解説」

プリント配線板露光技術の最新動向

大学研究室を訪ねて Campus Lab⑱

電子デバイスの性能を高め、新用途を拓く 次世代薄膜形成技術Cat-CVD」