ライトエッジ No.35

ライトエッジ No.35

次世代の最先端半導体を製造するEUV露光装置用の「光源」をはじめ、LEDやFPD製造分野、医療分野における「光の装置」の研究開発、また、注目を集める「固体光源」に関する研究など、2010年秋から2011年春にかけて発表した論文9件を掲載しました。

また、シリーズ「大学研究室を訪ねて」では、医食同源の実現に向けて、植物と環境を研究ターゲットに、環境調節工学に取り組む千葉大学 大学院園芸学研究科教授の後藤英司先生をご紹介しております。

(2011年08月)

秋季第71回応用物理学会学術講演会(応用物理学会)

電子線励起法による高Al組成AlGaN/AlN
量子井戸からの100mW 深紫外発光

2011.3 SPIE Advanced Lithography 2011

Development of debris-mitigation tool
for HVM DPP source

2011.3 Proceedings of SPIE (SPIE Advanced Lithography 2011)

Regeneration of imprint molds using
vacuum ultraviolet light

2010.9 Reprinted by permission from Nature Photonics Vol.4, pp.767-770, November 2010 Copyright: Macmillan Publishers Limited

100 mW deep-ultraviolet emission from
aluminium-nitride-based quantum wells pumped
by an electron beam

2011マイクロマシン/MEMS技術大全(電子ジャーナル)

ウシオの露光装置

第12回プリント配線板EXPO 専門セミナー

ロールtoロール露光装置の最新動向