ライトエッジ No.35
次世代の最先端半導体を製造するEUV露光装置用の「光源」をはじめ、LEDやFPD製造分野、医療分野における「光の装置」の研究開発、また、注目を集める「固体光源」に関する研究など、2010年秋から2011年春にかけて発表した論文9件を掲載しました。
また、シリーズ「大学研究室を訪ねて」では、医食同源の実現に向けて、植物と環境を研究ターゲットに、環境調節工学に取り組む千葉大学 大学院園芸学研究科教授の後藤英司先生をご紹介しております。
(2011年08月)
2011.3 SPIE Advanced Lithography 2011
Tin LDP Source Collector Module (SoCoMo)ready for integration into Beta scanner
2011.3 SPIE Advanced Lithography 2011
Sn film and ignition control for performance enhancementof laser-triggered DPP source *
2011.3 Proceedings of SPIE (SPIE Advanced Lithography 2011)
Regeneration of imprint molds usingvacuum ultraviolet light
2010.9 Reprinted by permission from Nature Photonics Vol.4, pp.767-770, November 2010 Copyright: Macmillan Publishers Limited
100 mW deep-ultraviolet emission fromaluminium-nitride-based quantum wells pumped
by an electron beam