ライトエッジ No.36 特集号

光のいま”をキーワードに、「ウシオの新しい取り組み－新市場・新分野を創出する光の先端技術」と題して、ウシオグループが取り組む直近の光技術・光研究を、特集号としてNo.36から3回シリーズでご紹介します。

No.36特集号「第一回」は、最先端の半導体露光用光源「EUV」、新しい応用分野を切り拓く種々の「露光装置」や「光の装置」、可視・紫外・赤外の領域で注目を集める「LED」に関する論文を掲載しました。

（2012年03月）