ライトエッジ No.18

日本分光学会「第35回夏期セミナー」(1999年7月)

エキシマランプ

第11回環瀬戸内光源研究会

希ガス蛍光ランプにおけるVUV光の
変換効率の見積もり

照明学会公開研究会「新しい短波長光源・材料技術」

CLBOによる全固体深紫外レーザー光源
All-solid-state, deep-UV laser source using CLBO crystals

第3回マイクロマシンシステム／MEMSセミナー

一括投影露光装置

第60回応用物理学会学術講演会
21aⅢ4

露光用3kz ArF エキシマレーザーの開発
3kHz ArF excimer laser for 193nm lithography

レーザー学会学術講演会第20回年次大会
第60回応用物理学会学術講演会　講演予稿集（1999. 9. 甲南大学）
1p―H―1

露光用2kHz ArF エキシマレーザーの開発
2kHz ArF excimer laser for 193nm lithography

ディスプレイ アンド イメージング 1999, Vol.7
pp-291-295

プロジェクター用メタルハライドランプ
Short-Metal Halide Lamp for Projectors

月刊ディスプレイ　平成11年11月号
特集2バックライト用光源

DMD対応
ショートアークキセノンランプ

レーザー研究　’99／8号

CsLiB₆O₁₀結晶（CLBO）を用いた193nm光源の開発
193 nm Generation by Optical Frequency Conversion Using
CsLiB₆O₁₀ Crystal(CLBO)

月刊電子材料　新年号

微細加工用全固体
紫外線レーザ装置とその応用

表面処理技術ハンドブック

第2編 応用編／第1章 処理方法より
エキシマUV

ガラス微小キズ検査光源装置の標準化

ガラス微小キズ検査光源装置の標準化

大学研究室を訪ねて Campus Lab ⑩

光が変える、有機の世界を探る