ライトエッジ No.24

各社との共同研究成果を含む学会発表、専門誌への投稿、さらに共同研究で関連した他社論文発表で特に関係の深いもの、また、ウシオで開催された講演会などをご紹介しています。

（2002年04月）

第50回高分子討論会

Nafion^® Based Polymer Electrolyte Membranes For Improved
Direct Methanol Fuel Cell Performance.

2001 International Conference on Solid State Devices and Matelials,
Extended Abstracts of the 2001 International Conference on Solid State Devices and Materials,Tokyo,2001,pp.182-183

A-5-3
Flash Lamp Anneal Technology for Effectively Activating Ion Implanted Si

2001 International Conference on Solid State Devices and Matelials,
Extended Abstracts of the 2001 International Conference on Solid State Devices and Materials,Tokyo,2001,pp.520-521

C-8-1
Novel PZT Crystallization Technique by Using Flash Lamp for FeRAM Embedded
LSIs and 1Tr FeRAM Devices

神戸市立工業高専門学校

エキシマランプの産業応用

第16回生体機能関連化学部会シンポジウム

メタルハライドランプを用いた
癌の光線力学療法

第11回マイクロエレクトロニクスシンポジウム

高重ね合せ精度に対する分割投影露光機スケーリングの効果
／多層PWB フォトリソグラフィープロセス
Effectiveness of Projection Exposure Scaling function for High Overlay Accuracy/PWB Photolithography Process

マイクロマシン／MEMS 徹底解剖セミナー
●マイクロマシン／MEMSの設計・製造技術とそのツール

マイクロマシン／MEMS用
露光技術と装置

レーザー研究10月号

リソグラフィ用EUV光源
EUV Source for Lithography

月刊ディスプレイ11月号
トレンドクローズアップ最新プロジェクタ動向