ライトエッジ No.23　[特集号]ウシオの露光装置

ウシオの露光装置は、高密度実装分野においてエレクトロニクスやＩＴ産業を支える一方、マイクロマシンに代表されるように、ナノテクノロジーの超微細加工技術の研究開発にも貢献しています。このような観点から、ウシオ（グループ、OB含む）のみならず、産・学を代表する方々にも執筆いただきました。

（2001年11月）