2008年発刊インデックス

ライトエッジ No.30 [特集号] EUV光源

ライトエッジ No.31

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SPIE, 2005 International EUVL Symposium

Xe- and Sn-fueled Z-pinch EUV source
development aiming at HVM

SPIE, 2007 International EUVL Symposium

High-power DPP EUV source
development toward HVM

平成18年度 EUV露光技術研究成果報告会

DPP方式EUV光源の開発

2007 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography

Progress on DPP source
development towards HVM

2007.5 LS-11(11th Int'l Symp. on the Science and Technology of Light Sources)

Study of HID lamp by a 3-D and time-dependent model:
determination of temporal distributions
of electrode temperatures

2007.5 LS-11(11th Int'l Symp. on the Science and Technology of Light Sources)

Current waveform optimization
of AC-operated short arc ultra high pressure mercury lamps
for projection applications

2007.5 LS-11(11th Int'l Symp. on the Science and Technology of Light Sources)

Electrode stabilized Xe filled Flash Lamp as a DUV
and VUV Point Source

2007年秋季 第68回困応用物理学会学術講演会

塩素ビームSiエッチングの
表面反応における紫外光の影響

2007.11 Fifth international symposium on control of semiconductor interfaces

Role of UV Irradiation during Si Etching Process in Chlorine Plasma

2008年春季 第55回応用物理学会学術講演会

完全水銀フリー蛍光ランプの開発

2008.6 ICOPS2008 (35th IEEE International Conference on Plasma Science)

MODELING OF A PROJECTOR LAMP OPERATED
BY A U-DRIVE PULSE POWER SOURCE

2008.6 25th International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST-25)

Techniques for Measuring Rate Constants for Acid
Generation from PAG (Photo Acid Generator)
during ArF Exposure

2008.6 25th International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST-25)

A Study of Photoresist Pattern Freezing for Double Imaging
using 172nm VUV Flood Exposure

「レーザー研究」日本レーザー学会

リソグラフィ用EUV光源
EUV Source for Lithography

「超精密」精密工学会 超精密加工専門委員会編

EUVL用ディスチャージ生成
プラズマ光源の開発

プラズマ核融合学会誌 Vo.81 12月号
講座 プラズマの光源応用~身近な明かりから次世代光源まで~

4.これからの光源
4.1 EUV 光源

「エレクトロニクス洗浄技術」技術情報協会

紫外線洗浄

月刊「光アライアンス」 日本工業出版社2007年7月

光線力学診断および治療における
放電ランプの応用

⌈EUV光源の開発と応用⌋シーエムシー出版

放電プラズマEUV光源(DPP)

究極の「光」、次世代半導体の実現へ

究極の「光」、次世代半導体の実現へ