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光技術情報誌「ライトエッジ」No.30（2008年3月発行）

平成18年度 EUV露光技術研究成果報告会

（2007年5月）

DPP方式EUV光源の開発

EUVA平塚研究開発センタ御殿場分室
佐藤　弘人

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掲載誌：ライトエッジＮｏ.30 ［特集号］ EUV光源

ライトエッジＮｏ.30 ［特集号］ EUV光源

次世代半導体の実現に向けて、今、最も可能性が高く、大きな期待が寄せられている「EUV露光技術」にスポットをあて、その核となる「EUV光源」の技術論文を編集したEUV特集号です。

（2008年03月）