光技術情報誌「ライトエッジ」No.1（1995年冬発行）
第41回応用物理学関係連合講演会講演予稿集
（1994年春季）
30p－ZE－2
誘電体バリア放電Xe2＊エキシマランプによる
石英ガラスのUV/O3洗浄
UV/O3 Cleaning of Slica Glasses with Xe Excimer Lamp
ウシオ電機（株）磯 慎一 五十嵐龍志 野澤繁典 団 雅史 松野博光 平本立躬
USHIO INC. S.lso T.Igarashi S.Nozawa M.Dan H.Matsuno T.Hiramoto
1．はじめに
誘電体バリア放電Xe2＊エキシマランプ（1）を用い、石英ガラスのUV／O3洗浄を試みた。放射スペクトルは172nm単色光（半値幅14nm）であり､酸素に強く吸収され（低圧水銀ランプの184.9nmの吸収係数の1桁以上大）、直接、活性度の高い酸素原子O（1D）を生成出来る（<175nm）。照射窓付近でのオゾン濃度、酸素原子濃度は上記効果により、従来の低圧水銀ランプに比較し高濃度であると考えられ、この効果が洗浄力に及ぼす効果を検討した。
2．実験
エチルアルコール洗浄後の石英ガラス板（GE214）を大気中で本ランプ（20W）と、ウシオ電機製高出力低圧水銀ランプ（450W）を用い、時間を変化させ、照射した。試料温度は本ランプでは照射前後で変化なく23°C、低圧水銀灯照射後は約50°Cであった。清浄度評価を純水の接触角、XPSにより行った。
3．結果
図1に結果を示す。接触角は未照射で45度、本ランプ照射後30秒、60秒、120秒でそれぞれ11度、9度、4度と変化した。低圧水銀ランプの場合、5度以下には240秒要した。この結果とXPSの結果も矛盾しない。これら結果から温度を考慮しなくとも、本ランプは低圧水銀ランプの洗浄速度の2倍、試料温度を考慮すれば約4倍と考えられる。
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ウシオが世界で初めて製品化に成功した「誘電体バリア放電エキシマランプ」の特性をはじめ、その用途として表面改質や洗浄、親水性などをご紹介しています。
（1995年02月）