光技術情報誌「ライトエッジ」No.1(1995年冬発行)
第41回応用物理学関係連合講演会講演予稿集
(1994年春季)
30p-ZE-3
誘電体バリア放電を利用した
Ar2*エキシマランプの開発
Development of Ar2* Excimer Lamp using Dielectric Barrier Discharge
ウシオ電機(株)菅原 寛、松野博光、大西安夫、五十嵐龍志、平本立躬、朝比奈隆
USHIO INC. H.Sugahara H.Matsuno Y.Ohnishi T.Igarashi T.Hiramoto T.Asahina
我々はこれまで誘電体バリア放電を利用して形成された、希ガスあるいは希ガスハライドのエキシマからの放出光を出力するランプの開発を進めてきた。既に実用化されているXe2*エキシマランプは、合成石英ガラス管を2本同軸に配置して放電容器の両外面に電極を形成し、中空円筒内にガスを封入して放電を形成する構造を持つ(1)。しかしながら、合成石英ガラスは160nm以下の波長の光を透過しないため、この波長以下のエキシマ光を出力するためには他の光学材料に依らなければならなかった。
そこで今回報告するランプは、図1に示される様に放電円筒管端面に窓材としてふっ化マグネシウム(MgF2)を用い、その他は従来のランプとほぼ同様の構造を持つ。
ArおよびKrのガス圧と放電ギャップの積pdが20kPa・cm、ランプ電力PLが20Wにおける放射スペクトルを図1に示す。Ar、Kr、それぞれ126nm、146nmに最大値を有し、半値幅はそれぞれ約10nm、13nmである単色光が得られた(2)。また、放射出力はXeと比較してそれぞれ約1/10、1/4であった。なお、その他の詳細については講演で報告する。

1103
1116
論文を探す
キーワード
掲載誌:ライトエッジ No.1