光技術情報誌「ライトエッジ」No. 4(1996年2月発行)
第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集
28a-ZT-7
誘電体バリア放電Xe2*エキシマランプによるUV/O3洗浄の要因検討
The Conceivable Factors for UV/O3 Cleaning by Xe2 Excimer Lamp
ウシオ電機(株)、磯慎一、 ｏ松野博光、菅原寛、五十嵐龍志、平本立躬
USHIO INC．S.Iso, ｏH.Matsuno, H.Sugahara, T.Igarashi, T.Hiramoto
【はじめに】
液晶ガラスの精密洗浄にUV/O3法は広く使われているが「O3」、「UV」、「その相乗」の効果が明らかでない。光アッシングでの研究例(1)はあるが洗浄分野での報告例はない。誘電体バリア放電Xe2*エキシマランプ(2)は低圧水銀灯とは異なり、瞬時 ON-OFF点灯が可能で点滅点灯が出来る特徴がある。点滅点灯では点灯時の「UV」＋「O3」の作用に加えて消灯時にも「O3」が作用し、連続点灯では「UV」＋「O3」の両方が作用するため、O3だけの洗浄効果が容易に確認ができる。今回は(1)点滅点灯で「O3」の効果(2)N2中の連続点灯で「UV」の効果(3)「UV」＋「O3」の相乗効果を比較し洗浄要因の検討を行った。
【実験】
2－プロパノール処理後の無アルカリガラスをAir中で点滅点灯(ON-OFF比、周波数)とAir中とN2中で連続点灯で時間を変化させて洗浄した。評価は水の接触角により行った。
【結果】
図に結果を示す。(1)点滅点灯の総照射時間(ONの通算時間)で比較すると、点滅点灯の洗浄速度は連続点灯とほぼ一致して、O3だけの洗浄効果はほとんど認められなかった。(2)N2中でUVだけの洗浄効果も認められなかった。これらの結果から本ランプでは「UV」と「O3」の相乗効果で洗浄がなされていることが分かった。
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1995年発行のレーザー学会誌「レーザー研究」に掲載されたウシオ社員の技術論文、第56回応用物理学会学術講演会で発表されたウシオ社員および共同研究の論文要旨、また宮崎大学 黒澤教授をお招きしての社内講演会要旨をご紹介しています。
（1996年02月）