UVチャージイレーサとは
強力な深紫外線を照射することにより、基板中の電荷を除去します。
半導体製造ラインで採用されており、700台の納入実績があります。
高照度、均一度照射
初期照度は650mw/cm2以上（220～320nm）を、照度均一度は±10%を保証しています
容易なランプユニット交換
ランプユニットは、交換時の調整が不要で、装置のダウンタイムを低減します。
豊富なラインナップ
φ6インチ用装置（ Φ5インチ以下の兼用も可能）、φ8インチ用装置（ Φ6インチ以下の兼用も可能）、φ12インチ専用装置など、あらゆるワーク・カセットに対応します。また、エキシマランプを搭載した～φ8インチ用装置もあります。
