チャージイレース装置

• 改質
• 硬化・接着
• 半導体

強力な深紫外線照射により、EPROM、フラッシュメモリなどの電荷を除去。各種プラズマプロセスで問題となるチャージングを消去します。

本製品は2023年9月末日をもって新規装置の受注を終了させていただきます。
2035年9月末までは、ランプユニット、ホットプレート等の主要保守・消耗部品につきましては、提供に問題ない体制を準備する予定です。
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