チャージイレース装置 お気に入り 印刷 カタログ各種資料ダウンロード 改質硬化・接着 半導体 強力な深紫外線照射により、EPROM、フラッシュメモリなどの電荷を除去。各種プラズマプロセスで問題となるチャージングを消去します。 特長 主な用途 事例紹介 製品ラインナップ よくあるご質問 UVチャージイレーサとは 強力な深紫外線を照射することにより、基板中の電荷を除去します。 半導体製造ラインで採用されており、700台の納入実績があります。 高照度、均一度照射 初期照度は650mw/cm2以上(220~320nm)を、照度均一度は±10%を保証しています 容易なランプユニット交換 ランプユニットは、交換時の調整が不要で、装置のダウンタイムを低減します。 豊富なラインナップ φ6インチ用装置( Φ5インチ以下の兼用も可能)、φ8インチ用装置( Φ6インチ以下の兼用も可能)、φ12インチ専用装置など、あらゆるワーク・カセットに対応します。また、エキシマランプを搭載した~φ8インチ用装置もあります。 電荷除去(EPROM, OTP, フラッシュメモリ) 蒸着前の電荷除去 プラズマプロセス問題となるチャージングの除去 など H120シリーズ12インチ専用機。SEMIに準拠したロードポートを搭載したEFEMを採用。GEM300準拠。 H208シリーズ8インチ、6インチ対応機 搭載光源 関連論文 関連イベント 関連ニュース 関連製品 分割投影露光装置「UX-5シリーズ」「UX-7シリーズ」 投影露光装置「UX-4シリーズ」 プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」 マスクアライナー「UX-1シリーズ」 紫外線照度計「UIT-201」 紫外線積算光量計「UIT-250」 関連用語