チャージイレース装置

  • 改質
  • 硬化・接着
  • 半導体

強力な深紫外線照射により、EPROM、フラッシュメモリなどの電荷を除去。各種プラズマプロセスで問題となるチャージングを消去します。

UVチャージイレーサとは
強力な深紫外線を照射することにより、基板中の電荷を除去します。
半導体製造ラインで採用されており、700台の納入実績があります。
高照度、均一度照射
初期照度は650mw/cm2以上(220~320nm)を、照度均一度は±10%を保証しています
容易なランプユニット交換
ランプユニットは、交換時の調整が不要で、装置のダウンタイムを低減します。
豊富なラインナップ
φ6インチ用装置( Φ5インチ以下の兼用も可能)、φ8インチ用装置( Φ6インチ以下の兼用も可能)、φ12インチ専用装置など、あらゆるワーク・カセットに対応します。また、エキシマランプを搭載した~φ8インチ用装置もあります。
電荷除去(EPROM, OTP, フラッシュメモリ)
蒸着前の電荷除去
プラズマプロセス問題となるチャージングの除去
など

H120シリーズ12インチ専用機。SEMIに準拠したロードポートを搭載したEFEMを採用。GEM300準拠。
H208シリーズ8インチ、6インチ対応機

搭載光源