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エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット |
エキシマVUV光は希ガスや希ガスハライド化合物のランプから生みだされる非常にエネルギーの高い光です。
希ガスや希ガスハライド化合物のガスが封じられたランプに外部から高いエネルギー電子を与えると放電プラズマ(誘電体バリア放電)が多数発生します。このプラズマは高いエネルギー電子を包含しており、かつ瞬時に消滅するという特徴を持っています。このプラズマ放電により、放電ガス(希ガス)の原子が励起され、瞬間的にエキシマ状態(Xe)となります(エネルギーの高い軌道原子に励起され、エキシマ励起分子になります)。このエキシマ状態から元の状態(基底状態)に戻るとき、そのエキシマ特有のスペクトルを発光します。この光をエキシマVUV光と呼んでいます。
表面処理用エキシマ照射装置のご紹介
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大気圧プラズマ照射装置 |
長年に渡るランプで培った製造技術を応用し、大気圧プラズマリアクターを開発いたしました。軽量で低消費電力ながら高い表面改質効果が得られます。弊社独自のDBD方式により低パーティクルでクリーンなプラズマが発生し、ポリプロピレン(PP)や液晶ポリマー(LCP)、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)など様々な素材へ対応可能です。プラズマ照射幅もご要望に応じてカスタマイズし、電源とのセットで装置としてのご提供も可能です。 |
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