USHIO

(2017.11)
Applied Physics Express 10, 2017

Development of polychromatic ultraviolet light-emitting diodes based on three dimensional AlGaN quantum wells

Ken Kataoka1,2, Mitsuru Funato1, and Yoichi Kawakami1 ∗
 

   AlGaNを用いたDUV-LEDは近年特性の向上が進んでいる.一方で従来用いられている多波長性の水銀ランプと 単色性のLEDでは光源特性が異なるため、単純な置き換えが難しい用途もある.例えば樹脂硬化では水銀ランプの 複数の輝線により表面と内部の同時硬化を行っており,多波長発光LEDの実現が有効である. 可視光領域では,ファセット結晶面に依存した井戸幅や組成変化を用いたGaN系3D構造による多波長LEDが 報告されている.今回我々は,AlNストライプ3D構造に由来したバンチトステップによる局所的な発光の長波長化を用いて, 深紫外領域における多波長発光LEDを実現したので報告する。

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