よくある質問：製品について

エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット

• 遮光して使用する必要はありますか？

  172nmの光は大気中で急激に減衰します。長波長側の光も、172nmの1/100程度出ています。本ランプは10cm以上離れれば、短時間であれば直視しても差し支えありませんが、ランプ点灯時に作業される場合は、保護メガネの着用をお勧め致します。

• なぜN2は99.9９％以上の純度が必要？

  N2純度が低いことで、ランプハウス内の酸素濃度・オゾン濃度の上昇が起こります。その結果、放射発散強度の低下、 ミラーへのダメージ、ランプ劣化による 低寿命を引き起こすためです。

• オゾン排気はどのように行ったらよいでしょうか？

  ドラフターの中で使用して頂く・ダクトから排気して使用して頂くことが多いです。 仕様書規定値に従って排気して下さい。また、パージガスの排気も同様に行って下さい。
  排気設備でお困りの場合には、オゾンフィルター付きの排気ユニットをご提供することも可能です。その場合には、オゾンフィルター付きの排気ユニットを経由して、排気を大気開放可能です。
  詳細はこちらの設置にかかわる注意事項をご参照ください

• 大気雰囲気中でも洗浄効果は得られますか？

  洗浄能力は照射物に到達する照射強度と照射物表面の活性酸素濃度に依存します。 GAPを取りすぎると照射物に光が到達せず洗浄が行われません。次ページにGAPと照射強度の相関図を提示致します。
  
  

• 最適な酸素雰囲気・ギャップはどれくらいですか？

  エキシマの洗浄効果は照射物の材質に影響するため、材質にあった最適パラメータを見つけることが必要です。ご参考までにガラス基板洗浄時のパラメータを掲載しています。
  
  

  

• 洗浄の評価方法はどのようにしたら良いでしょうか？

  水滴を用いた、水と材料の接触角を測定する方法が一般的です。 簡易的に確認する場合は、呼気にて曇り具合で判断したり、ダインペンを用いて判断する方法もあります。 上記の測定では満足せずに、原子レベルで判断したい場合には、XPSを用いるケースもあります。