フィリップス、イエナオプティックと業務提携で基本合意

ウシオ電機、フィリップス、イエナオプティックが業務提携で基本合意
― 次世代半導体製造用EUV光源を共同開発 ―

ウシオ電機株式会社（本社：東京都、代表取締役社長：菅田 史朗、以下　ウシオ）とフィリップス、イエナオプティックレーザーオプティックシステメGmbH（以下、イエナオプティック）は、10月30日、札幌で開催中の「2007年インターナショナルＥＵＶＬシンポジウム」（主催:EUVA、Selete）において、次世代半導体の露光に必要なEUV（極端紫外光）光源を共同開発するため、業務提携することを発表いたしましたのでお知らせします。

ウシオとイエナオプティクが50％ずつ出資する、エクストリームテクノロジーズGmbH（以下、エクストリーム）と、フィリップスの子会社、フィリップスエクストリームUV GmbH（以下、フィリップスEUV）の２社は、同じDPP（Discharge Produced Plasma:放電生成プラズマ）方式によるEUV光源の開発をそれぞれ進めてまいりました。両社はこれまでに研究用EUV光源を出荷しており、その実績をもとに、2006年から2007年にかけて300ｍｍウエーハを露光可能な、フルフィールド露光機に搭載されるα機を、主要取引先に出荷しています。

当業務提携の目的は、EUV露光開発の速度を速め、ArFレーザ液浸方式の後継技術として実用化することにあります。EUV露光の導入時期は、高出力光源の開発にかかっています。世界で唯一、露光用の実用EUV光源の出荷実績があるエクストリームとフィリップスEUVが提携することにより、β機（量産試作用光源）の開発速度を一層加速し、その後の実用EUV光源の開発と販売への道筋を確かなものにしてまいります。

ロイヤル フィリップス エレクトロニクス（本社:オランダ、NYSE:PHG、 AEX:PHI）は、ヘルスケア、ライフスタイル、テクノロジーの分野において、“sense and simplicity”というブランドプロミスと共に、製品とサービスとソリューションを提供するグローバル・リーディングカンパニーです。世界60ヶ国以上に128,100人の従業員を擁し、2006年の売上は270億ユーロで、医療用画像診診断機器、生体情報モニタ、省エネ照明ソリューション、パーソナルケアや家電と共に、コンシューマーエレクトロニクスなどの市場におけるリーダーシップを発揮しています。
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イエナオプティックレーザーオプティックシステメGmbHは、ドイツイエナに本社をおく、イエナオプティックAGテクノロジーグループの100％子会社です。レーザ、オプティック、マイクロオプティクスおよびセンサーの開発・製造・販売を行っています。また、システムソリューションや精密測定、画像処理、多様な素材の構成と分析に使用される技術を保有し、最新の技術とカスタムメイドされたアプリケーションは市場で高く評価されています。1995年設立。社員数約580人。イエナオプティクグループのレーザ＆オプティクスディビジョン所属。
http://www.jenoptik-los.com