ウシオ電機、独エクストリームを100%子会社化

ウシオ電機株式会社(本社:東京都、代表取締役社長:菅田 史朗、以下 ウシオ)はこのたび、エクストリームテクノロジーズGmbH(本社:ドイツ・イエナ 社長:吉岡正樹 以下、エクストリーム)を100%子会社化いたしましたので、お知らせいたします。

エクストリームは、次世代半導体の露光に必要なEUV(極端紫外光)光源の研究開発を目的として、2001年に設立。2005年からウシオが50%資本参加し、ジョイントパートナーであるイエナオプティックレーザーオプティックシステム(本社 ドイツ・イエナ 以下、イエナオプティック)と共同で事業をおこなってまいりました。

このたび、EUV開発事業強化の一環として、ウシオがイエナオプティックから持分を譲り受け、完全子会社化いたしました。

今後、ウシオならびにエクストリームは昨年10月に合意した、フィリップスエクストリームUV GmbH(本社:ドイツ・アーヘン)との共同開発をさらに機動的に推し進め、EUV光源の一日も早い量産化を目指して参ります。

なお、ウシオによる完全子会社化後も、既存取引先に対するサポート体制に変更はありません。

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