EUV事業に関するお知らせ

2012年10月1日～4日、ベルギーのブリュッセルにおいて開催されました「EUVシンポジウム2012」において、ウシオは国際的研究機関IMEC（ベルギー）での約半年間にわたる安定稼動、74Wまでの高出力実験結果および250Wの可動性実証などを発表しております。

ウシオはこれらの成果をもとに、今後もDPP（放電）方式のEUV光源量産化に向けて、事業を推進してまいります。