投影露光装置の生産能力増強のお知らせ

投影露光装置の生産能力増強のお知らせ

ウシオ電機株式会社(本社:東京都、執行役員社長 内藤 宏治、以下 ウシオ)は最先端ICパッケージ基板、フレキシブル基板の新たな需要増に対応するため、分割投影露光装置(UX-5シリーズ)及びロール搬送投影露光装置(UFXシリーズ)の生産能力増強の設備投資を決定しましたので、下記の通りお知らせいたします。

今後、IoTの進展に伴い、大容量かつ高速でのデータ処理に対応したデータセンター向けサーバーの需要増加が見込まれています。一方、スマートフォンを始めとするディスプレイの分野では、OLEDの採用や狭額縁化がすすみ、COFと呼ばれるフレキシブル基板の需要が増加しています。
いずれも、採用される基板には高い解像性や重ね合せ精度が求められます。それらの要求を高い生産性で実現する露光装置を増産することで、IoTの進展による豊かな社会づくりに貢献します。


<設備投資の概要(予定)>
(1)投資内容 : 露光装置の製造設備導入及び生産スペースの拡張
(2)設置場所 : 御殿場事業所(静岡県御殿場市)
(3)増産計画 : 既に順次生産能力を増強しており、2019年後半より従来比2倍以上とする
 

                            御殿場事業所                                                      分割投影露光装置(UX-5シリーズ)

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