ウシオグループ、光学装置事業を強化

ウシオ電機株式会社（本社：東京都、代表取締役社長 内藤 宏治、以下 ウシオ）を中心としたウシオグループは、このたび高精度かつ多岐に渡るリソグラフィの需要増に対応するため、全自動ダイレクトイメージング(DI)露光装置の生産能力拡張およびマスク検査用EUV光源部品の生産体制構築を決定しましたので、お知らせいたします。

近年、第5世代移動通信システム（5G）実用化によるIoTの進展やスマートデバイスの進化、オンラインサービスやデータトラフィックの増加など、ICT（情報通信技術）インフラの需要が急伸しており、それに伴い半導体やプリント基板、パッケージ基板などの需要拡大及び技術革新が期待されています。

そこでウシオは、以下を目的としてウシオグループの一員であるアドテックエンジニアリングの長岡事業所にて、設備投資額約20億円で生産スペースを拡大します。なお、この投資はウシオグループの中期経営計画（2020年7月31日発表）にある成長投資の一環として行うものです。

1. プリント基板や、パッケージ基板等の半導体後工程を含めた多岐にわたる回路形成技術の進化に対応した露光装置の世界的な需要増加、および露光装置の大型化への対応のための全自動DI露光装置の生産能力増強（従来比約1.4倍）。

2. 次世代半導体の量産プロセスに欠かせない、EUVリソグラフィ実用化の肝となるマスク検査用EUV光源の主要基幹部品の安定供給や継続的な性能・品質の改善。

なお、新建屋および新工場の概要は以下の通りです。

■取得物件(土地・建屋)概要
・住所： 新潟県長岡市三島新保392番１
・敷地面積：14,970㎡
・既存建屋床面積：4,410㎡
・生産予定品種：全自動DI露光装置・各種FA装置

■新工場概要（上記敷地内に建設予定）
・新規建屋床面積：2,000㎡
・竣工：2022年春頃
・生産予定品種：マスク検査用EUV光源 主要基幹部品等

ウシオはこれからもDI露光装置およびマスク検査用EUV光源の性能・品質改善に継続的に取り組むことで、社会のさらなる発展に「光」で貢献してまいります。 ※生産能力拡張のお知らせについては、アドテックエンジニアリングのWebサイトもご覧ください。                                

株式会社アドテックエンジニアリング(本社：東京都)

1983年設立。2014年の株式交換によりウシオの100%子会社化。超精密加工技術およびファクトリー・オートメーション(FA)装置開発技術をコアとして、近年は、プリント基板の製造工程で使用される「露光装置」に注力し、全自動コンタクト露光装置から最先端のデジタル露光装置まで、そのラインナップを広げながらお客様の露光プロセスにて問題解決を提案するソリューション型企業を目指して事業を展開しています。
www.adtec.com